本發(fā)明公開了一種集成式電磁電容平面陣列傳感器及其制備方法,傳感器包括兩面均帶有導(dǎo)電金屬層的基底,基底下表面的導(dǎo)電金屬層包括刻蝕形成的主電極和次電極、上表面的導(dǎo)電金屬層包括刻蝕形成的渦流檢測線圈,主電極為長條狀且彎曲呈蛇形走線狀布置,次電極的數(shù)量為多個且分別布置于主電極的凹入?yún)^(qū)域內(nèi)構(gòu)成直線型陣列結(jié)構(gòu),渦流檢測線圈和對應(yīng)的次電極中心重合且在基底的上表面上構(gòu)成直線型陣列結(jié)構(gòu);制備方法包括在基底上電鍍導(dǎo)電金屬層并刻蝕形成主電極、次電極以及渦流檢測線圈。本發(fā)明能夠基于電磁渦流法和平面電容法實現(xiàn)熱障涂層的厚度/缺陷/構(gòu)件金屬基底缺陷等全面無損檢測,具有結(jié)構(gòu)簡單、檢測效率高、檢測范圍全面、通用性好的優(yōu)點。
聲明:
“集成式電磁電容平面陣列傳感器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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