本發(fā)明公開了一種基于超短脈沖激光修復(fù)單晶金剛石晶體結(jié)構(gòu)的方法。本方法采用X射線衍射、激光拉曼光譜等檢測技術(shù),能夠快速、無損地對金剛石整體及局部區(qū)域的結(jié)晶質(zhì)量進(jìn)行判定。通過皮秒、飛秒等超短脈沖高能激光束,對金剛石中晶體質(zhì)量較差的區(qū)域進(jìn)行輻射退火處理,從而靈活、高效地修復(fù)其晶體結(jié)構(gòu)。結(jié)合超短脈沖激光作用時(shí)間短、熱影響范圍小、能量密度高的特點(diǎn),通過工藝參數(shù)的調(diào)節(jié),以及退火氛圍、溫壓條件的控制,該方法能夠快速且有針對性地促進(jìn)金剛石表層晶格損傷的修復(fù),提高其晶體質(zhì)量,特別適用于摻雜金剛石薄膜,能夠有效提高其均勻性和晶體質(zhì)量,優(yōu)化薄膜的工藝性能。
聲明:
“基于超短脈沖激光修復(fù)單晶金剛石晶體結(jié)構(gòu)的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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