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集成電路的背面光學(xué)失效定位樣品制備方法及分析方法

1068   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:58:57
本發(fā)明公開了一種集成電路的背面光學(xué)失效定位樣品制備方法,包括:步驟1、對(duì)樣品進(jìn)行開、短路測(cè)試,使用測(cè)試儀ATE機(jī)臺(tái)施加一個(gè)電流,來(lái)判斷電壓是否在正常的范圍,確定開短路測(cè)試電壓是在正常的范圍后進(jìn)行下一步分析;步驟2、使用手動(dòng)研磨機(jī)臺(tái)對(duì)失效樣品的背面塑封材料進(jìn)行研磨;步驟3、開封后使用超聲波清洗器對(duì)器件進(jìn)行清洗,將殘留在芯片背面的殘?jiān)サ簦⑦x用常溫恒溫,進(jìn)行8~15分鐘超聲清洗,得到干凈的樣品并自然干燥;步驟4、再次使用ATE(自動(dòng)測(cè)試儀)測(cè)量樣品的電學(xué)特性參數(shù),確認(rèn)樣品的特性與制樣前完全一致。本發(fā)明能大大提高無(wú)損開封的成功率及失效分析的速度。本發(fā)明還涉及該樣品的失效分析方法。
聲明:
“集成電路的背面光學(xué)失效定位樣品制備方法及分析方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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