本發(fā)明公開了一種陰極熒光光譜與高襯度成像裝置及其成像方法。本發(fā)明包括掃描電子顯微鏡系統(tǒng)、陰極熒光探頭、高襯度成像轉(zhuǎn)接模塊、分光模塊、光譜探測器、光強(qiáng)度探測器、信號(hào)處理系統(tǒng)和計(jì)算機(jī);本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)采集光譜譜圖、角度分辨成像、單譜成像以及高襯度全譜成像四種功能;不僅能夠在電子激發(fā)的陰極熒光進(jìn)入光譜探測器和光強(qiáng)度探測器前進(jìn)入陣列
芯片探頭用于近似無損的全譜成像,并且能夠在陰極熒光從光導(dǎo)管出射到進(jìn)入光譜探測器和光強(qiáng)度探測器前獲得單譜成像,再者該陣列芯片探頭能夠獲得電子束作用點(diǎn)的角度分辨成像;而且在獲得近似無損的全譜成像的同時(shí)能夠獲得光譜譜圖和單譜成像。
聲明:
“陰極熒光光譜與高襯度成像裝置及其成像方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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