一種用于連續(xù)溶解的裝置包括用于將氣體溶解到主液流中的溶解部分,該部分包括:流量計,該流量計測量主液流的流量,并輸出通過測量獲得的數(shù)值的信號;以及用于控制流量的機構,該機構根據(jù)從流量計輸入的信號來控制氣體的供給量。一種用于將氣體連續(xù)溶解到主液流中的方法,其中,氣體量根據(jù)主液流流量來進行控制。因為即使在主液流的流量變化時也可以穩(wěn)定地獲得具有恒定濃度的溶液,因此可以無損失地供給用于電子材料的清洗水或表面處理水,該電子材料特別需要精確的清洗表面。
聲明:
“用于連續(xù)溶解的裝置、用于連續(xù)溶解的方法以及用于供給包含溶解氣體的水的裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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