本發(fā)明公開了一種基于紅外成像定位法的集成電路修補裝置及方法。該集成電路修補裝置包括紅外成像定位單元和集成電路修補單元。紅外成像定位單元用于對被測的集成電路進(jìn)行失效點定位。集成電路修補單元用于對所述失效點進(jìn)行電路修補。所述基于紅外成像定位法的集成電路修補裝置及方法能夠?qū)呻娐窡o損傷地進(jìn)行失效點的快速精準(zhǔn)定位且能夠觀察到集成電路的內(nèi)部結(jié)構(gòu),提高失效定位成功率以及修補效率。
聲明:
“基于紅外成像定位法的集成電路修補裝置及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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