本發(fā)明提供了一種靜態(tài)存儲器的在線失效分析方法和在線電子束檢測設(shè)備,包括:將不同類型的探針安裝到在線電子束檢測設(shè)備的腔體中;將晶圓置于在線電子束檢測設(shè)備的腔體中;利用在線電子束檢測設(shè)備對接觸孔進行掃描并獲得靜態(tài)存儲器中接觸孔的圖像信息;根據(jù)接觸孔的圖像信息找出產(chǎn)生缺陷的接觸孔;根據(jù)產(chǎn)生缺陷的接觸孔的類型來選擇與之相對應(yīng)的探針;在線電子束檢測設(shè)備控制所選擇的探針與相應(yīng)的產(chǎn)生缺陷的接觸孔相接觸,并進行電性能檢測;根據(jù)產(chǎn)生缺陷的接觸孔在靜態(tài)存儲器單元中的功能,在線電子束檢測設(shè)備將探針進行組合來檢測功能并進行失效分析;檢測到功能失效,則產(chǎn)生缺陷的接觸孔是導(dǎo)致靜態(tài)存儲器失效的原因。
聲明:
“靜態(tài)存儲器的在線失效分析方法及在線電子束檢測設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)