本申請?zhí)峁┝艘环N高電阻結(jié)構(gòu)的原位溫度檢測裝置、
芯片和失效檢測方法。該高電阻結(jié)構(gòu)的原位溫度檢測裝置包括:二極管,具有正極端子和負極端子;金屬導(dǎo)線,與二極管的負極端子相連接。二極管控制電流的走向,金屬導(dǎo)線用來感應(yīng)高電阻結(jié)構(gòu)輻射出的熱量,利用金屬導(dǎo)線的溫度與電阻之間的特定關(guān)系,即金屬導(dǎo)線的電阻值與電阻溫度系數(shù)的乘積為常數(shù),即可通過本申請的原位溫度檢測裝置來檢測高電阻結(jié)構(gòu)的產(chǎn)生焦耳熱后的溫度值,進而得到準確的失效檢測結(jié)果。
聲明:
“高電阻結(jié)構(gòu)的原位溫度檢測裝置、芯片和失效檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)