国产在线一区二区不卡|在线观看中文字幕一区|亚洲中文无码h在线观看|欧美 亚洲 图色 另类|免费人成视频x8x8入口|国产福利观看天堂素人约啪|人妻无码专区一专区二专区三|国产婷婷成人久久AV免费高清

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置：中冶有色 >

有色技術頻道 >

> 失效分析技術

> GOI失效點的檢測方法

GOI失效點的檢測方法

1091   編輯：管理員   來源：中冶有色技術網  
2023-03-19 08:59:31
本發(fā)明提供了一種GOI失效點的檢測方法，包括：提供待測樣品，待測樣品包括襯底，襯底的表層包括多個淺溝槽隔離層及由淺溝槽隔離層隔離的多個實體部；覆蓋表層的柵氧化層；位于柵氧化層背離襯底一側的半導體層；及位于半導體層背離襯底一側的金屬連線層；將襯底背離柵氧化層一側減薄，直至裸露淺溝槽隔離層；采用電子束照射襯底的裸露所述淺溝槽隔離層的一側，并基于電壓襯度分析法檢測待測樣品的GOI失效點。將襯底進行減薄直至裸露實體部，從而獲取襯底裸露實體部一側的電壓襯度圖像；由于無任何結構層對該實體部背離柵氧化層一側進行遮擋，使得獲取的電壓襯度圖像更加精確，進而保證基于電壓襯度分析法對GOI失效點的檢測更加精確。
聲明：
“GOI失效點的檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽：
失效分析
全國熱門有色金屬技術推薦
江蘇礦山技術 徐州礦山技術 江蘇選礦技術 江蘇通用技術 徐州通用技術 北京礦山技術 北京采礦技術 北京通用技術 福建礦山技術 福建通用技術 江蘇冶金技術 江蘇火法冶金技術 北京冶金技術 北京火法冶金技術 北京濕法冶金技術 福建冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環(huán)境保護技術 南京環(huán)境保護技術 蘇州環(huán)境保護技術 南通環(huán)境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環(huán)境保護技術 北京廢水處理技術 第十七屆東亞資源再生技術國際會議 中冶有色技術平臺 有色金屬技術網 中冶有色技術網
展開更多 +

 

中冶有色技術平臺微信公眾號
了解更多信息請您掃碼關注官方微信
中冶有色技術平臺微信公眾號中冶有色技術平臺

最新更新技術

報名參會
更多+

報告下載

第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會
推廣

熱門技術
更多+

衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股（集團）有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話：
010-88793500-807
專利人/作者信息登記