本發(fā)明公開了一種基于納米壓入測試技術(shù)的超薄膜疲勞失效預(yù)測方法,其具體步驟如下:利用磁控濺射技術(shù)制備組織均勻的薄膜;將薄膜放在納米壓痕儀上,設(shè)定合適測試參數(shù),包括平均載荷大小,載荷幅值,以及加載頻率,進行測試;測試結(jié)果中,可以得到薄膜的存數(shù)剛度,隨時間的變化關(guān)系;分析實驗結(jié)果,找出數(shù)據(jù)中存數(shù)剛度變化的轉(zhuǎn)折點,此點所對應(yīng)的時間為薄膜發(fā)生疲勞失效的時間。本發(fā)明利用DMA組件實現(xiàn)基于納米壓入測試技術(shù)的超薄膜疲勞失效預(yù)測方法,該方法操作簡單,結(jié)果準(zhǔn)確有效,適應(yīng)性強。
聲明:
“基于納米壓入測試技術(shù)的超薄膜疲勞失效預(yù)測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)