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用于發(fā)光器件加工過程中的防失效定位檢驗方法及系統(tǒng)

758   編輯：管理員   來源：中冶有色技術網(wǎng)  
2023-03-19 08:59:33
本發(fā)明提供了一種用于發(fā)光器件加工過程中的防失效定位檢驗方法及系統(tǒng)，主要用于在發(fā)光器件制程中對倒裝發(fā)光芯片位置在可能發(fā)生變化的工序后進行檢測，其中包括：在倒裝發(fā)光芯片轉(zhuǎn)移至基板上后對倒裝發(fā)光芯片進行檢測、在倒裝發(fā)光芯片進行回流焊后對倒裝發(fā)光芯片進行檢測；為了滿足精確監(jiān)控的條件，還在發(fā)光器件的制程中增設部分特殊工藝以及對結構進行調(diào)整，具有位置檢測精度高等優(yōu)點。
聲明：
“用于發(fā)光器件加工過程中的防失效定位檢驗方法及系統(tǒng)” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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