本發(fā)明涉及MEMS器件,具體是一種MEMS器件原位實(shí)時(shí)測(cè)試塢及失效故障溯源方法。本發(fā)明解決了當(dāng)MEMS器件發(fā)生失效故障時(shí)無(wú)法原位實(shí)時(shí)地獲知引發(fā)失效故障的環(huán)境應(yīng)力類型的問(wèn)題。一種MEMS器件原位實(shí)時(shí)測(cè)試塢,包括測(cè)試座板、電池、電源管理
芯片、MEMS器件、傳感器陣列、模數(shù)轉(zhuǎn)換器、微處理器、存儲(chǔ)器、無(wú)線發(fā)射器、無(wú)線接收器、上位機(jī);所述傳感器陣列包括溫濕度傳感器、氣壓傳感器、磁場(chǎng)傳感器、高度傳感器、振動(dòng)傳感器、頻率傳感器、電壓采集器、電流采集器、功率采集器。本發(fā)明適用于航空、航天、國(guó)防等領(lǐng)域。
聲明:
“MEMS器件原位實(shí)時(shí)測(cè)試塢及失效故障溯源方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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