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晶圓團簇失效報警方法和報警系統(tǒng)

742   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:59:36
本發(fā)明公開了一種晶圓團簇失效報警方法,包括:按計劃執(zhí)行CP測試;生成b i n坐標圖;檢測失效d i e相鄰d i e是否失效判斷是否發(fā)生晶圓團簇失效,若發(fā)生晶圓團簇失效則發(fā)出報警,并則根據(jù)需求在晶圓團簇失效區(qū)域周圍的非失效d i e上形成失效標記,將具有失效標記的非失效d i e定義為失效d i e,否則執(zhí)行后續(xù)計劃測試。本發(fā)明能及時主動發(fā)現(xiàn)晶圓團簇失效并發(fā)出報警,通過失效標記能降低系統(tǒng)性風險,能提高生產(chǎn)效率,避免損失。
聲明:
“晶圓團簇失效報警方法和報警系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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