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用于儲(chǔ)存真空計(jì)校準(zhǔn)參數(shù)及測(cè)量數(shù)據(jù)于真空計(jì)結(jié)構(gòu)上的方法及裝置

974   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 09:00:13
一種用以借由組合離子化真空計(jì)與至少一其它的真空感測(cè)器來(lái)測(cè)量氣體壓力的方法及裝置。耦接于真空計(jì)的非依電性記憶體含有依據(jù)工廠校準(zhǔn)而定的各個(gè)個(gè)別感測(cè)器唯一的校準(zhǔn)參數(shù)。該非依電性記憶體可含有用于一熱敏真空感測(cè)器的校準(zhǔn)參數(shù),以補(bǔ)償由該離子化真空計(jì)所產(chǎn)生的溫度梯度。該等校準(zhǔn)參數(shù)是當(dāng)離子化真空計(jì)開(kāi)啟及關(guān)閉時(shí)所判斷的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)的函數(shù)。該非依電性記憶體可儲(chǔ)存該真空計(jì)的一視窗的測(cè)試數(shù)據(jù),該非依電性記憶體更新于預(yù)定的時(shí)間間隔及回應(yīng)于一諸如錯(cuò)誤事件的事件,以協(xié)助調(diào)查真空計(jì)故障或失效的原因。
聲明:
“用于儲(chǔ)存真空計(jì)校準(zhǔn)參數(shù)及測(cè)量數(shù)據(jù)于真空計(jì)結(jié)構(gòu)上的方法及裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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