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半導(dǎo)體存儲器老化測試設(shè)備中老化測試板卡散熱供氣裝置

772   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 09:00:15
本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體存儲器老化測試設(shè)備中老化測試板卡散熱供氣裝置,包括連通至隔熱腔體的老化測試板卡側(cè)接頭組件以及氣源側(cè)接頭組件,氣源側(cè)接頭組件包括同軸設(shè)置的堵頭、壓縮彈簧、氣源密封座及氣管接口,堵頭及壓縮彈簧設(shè)置在氣源密封座中,壓縮彈簧受壓設(shè)置在堵頭與氣管接口之間,氣源密封座與氣管接口固定連接,老化測試板卡側(cè)接頭組件在連接時對堵頭施加與壓縮彈簧相反的力,老化測試板卡側(cè)接頭組件與氣源側(cè)接頭組件的接觸端面之間設(shè)置有第一密封圈。本發(fā)明采用老化測試板卡側(cè)接頭組件與氣源側(cè)接頭組件進行插入配合并用密封圈進行密封,確保隔熱效果;本發(fā)明采用壓縮彈簧結(jié)構(gòu),機構(gòu)失效率較低,提升整體的結(jié)構(gòu)性能及工作壽命。
聲明:
“半導(dǎo)體存儲器老化測試設(shè)備中老化測試板卡散熱供氣裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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