本發(fā)明涉及MEMS傳感器,具體是一種基于RTS的MEMS面內(nèi)高g加速度傳感器。解決了現(xiàn)有MEMS高g加速度傳感器結(jié)構(gòu)不易實現(xiàn)水平向加速度測量、檢測結(jié)果易受溫度影響等問題,包括硅基框架、質(zhì)量塊,質(zhì)量塊兩側(cè)分別通過獨立支撐梁、兩組合梁與硅基框架固定,獨立支撐梁沿質(zhì)量塊中心線設(shè)置,兩組合梁以質(zhì)量塊中心線為對稱軸對稱設(shè)置;組合梁含檢測梁、兩連接梁,檢測梁上設(shè)有應變壓敏元件,檢測梁的厚度及寬度小于連接梁;獨立支撐梁、質(zhì)量塊、組合梁中的連接梁為等厚設(shè)置。結(jié)構(gòu)合理、簡單,能實現(xiàn)水平向加速度測量,加工工藝簡單,受環(huán)境溫度影響較小,在高溫環(huán)境下不易失效,易于實現(xiàn)三軸集成,適用于測量高g值的沖擊加速度。
聲明:
“基于RTS的MEMS面內(nèi)高g加速度傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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