本發(fā)明提供了一種掩膜板修復(fù)方法及掩膜板組件，掩膜板修復(fù)方法包括將掩膜板主體與基板對(duì)位，之后檢測(cè)掩膜板上開(kāi)口的偏位情況，檢測(cè)步驟包括：對(duì)位檢測(cè)設(shè)備抓取掩膜板主體上的開(kāi)口邊緣坐標(biāo)，將開(kāi)口邊緣坐標(biāo)與存儲(chǔ)器中相應(yīng)的預(yù)設(shè)開(kāi)口邊緣坐標(biāo)進(jìn)行比對(duì)，根據(jù)開(kāi)口邊緣坐標(biāo)與預(yù)設(shè)開(kāi)口邊緣坐標(biāo)的比對(duì)結(jié)果獲取開(kāi)口邊緣與相應(yīng)的預(yù)設(shè)開(kāi)口邊緣之間的偏位情況，其中，開(kāi)口的偏位情況包括開(kāi)口邊緣位于相應(yīng)的預(yù)設(shè)開(kāi)口邊緣的內(nèi)側(cè)以及開(kāi)口邊緣位于相應(yīng)的預(yù)設(shè)開(kāi)口邊緣的外側(cè)，之后根據(jù)掩膜板上開(kāi)口的偏位情況進(jìn)行處理以使得開(kāi)口符合預(yù)設(shè)開(kāi)口標(biāo)準(zhǔn)。該掩膜板修復(fù)方法能夠修復(fù)掩膜板上開(kāi)口的偏位問(wèn)題，避免制作的目標(biāo)膜層失效的問(wèn)題。