一種改進(jìn)的真空鍍膜設(shè)備,包括真空腔室、設(shè)置于所述真空腔室內(nèi)的鍍膜機(jī)構(gòu),所述真空腔室外連接有用于進(jìn)行鍍膜過(guò)程的供氣機(jī)構(gòu)和用于測(cè)量所述真空腔室內(nèi)真空度的真空檢測(cè)機(jī)構(gòu),所述真空檢測(cè)機(jī)構(gòu)包括真空計(jì),所述真空計(jì)與所述真空腔室之間連通有檢測(cè)管,所述檢測(cè)管包括與所述真空腔室連通的水平段和一端與所述水平段連通而另一端與所述真空計(jì)連通的豎直段;所述水平段中部還設(shè)有濾塵通道,所述豎直段上還設(shè)有防塵裝置。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便,有效阻止所述真空腔室產(chǎn)生的揚(yáng)塵通過(guò)管道滲入進(jìn)所述真空計(jì)中,避免所述真空計(jì)誤判或失效,延長(zhǎng)了所述真空計(jì)的使用壽命,降低運(yùn)維成本,使設(shè)備正常運(yùn)轉(zhuǎn)。
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“改進(jìn)的真空鍍膜設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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