本實(shí)用新型涉及蒸鍍技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種蒸鍍坩堝,在坩堝本體內(nèi)腔設(shè)置壓力傳感器和控制裝置,無(wú)線監(jiān)測(cè)裝置分別與壓力傳感器和控制裝置電連接,這樣能夠根據(jù)壓力傳感器檢測(cè)到的坩堝本體內(nèi)的有機(jī)氣體的壓力值來(lái)調(diào)節(jié)控制裝置的有機(jī)氣體進(jìn)入的氣體量,一方面能夠避免由于坩堝本體出料量隨蒸鍍時(shí)間的增加而減少引起的鍍率波動(dòng),從而避免鍍率波動(dòng)引起的所設(shè)定的參數(shù)表失效等一系列問題,減小生產(chǎn)停止的風(fēng)險(xiǎn);另一方面,坩堝本體出料量的穩(wěn)定,有利于目標(biāo)膜層的均勻性,提高產(chǎn)品的良率。
聲明:
“蒸鍍坩堝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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