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半導(dǎo)體加工設(shè)備

1171   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 09:20:06
本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體加工設(shè)備,包括:傳送腔,設(shè)有位移調(diào)節(jié)器及用于傳送晶圓的傳送手臂,位移調(diào)節(jié)器與傳送手臂相連,用于調(diào)節(jié)傳送手臂的位置;工藝腔,設(shè)有位移傳感器及工藝組件,其中,工藝組件用于承載傳送手臂送入的晶圓,并驅(qū)動(dòng)晶圓旋轉(zhuǎn),位移傳感器用于探測工藝組件的偏移量;數(shù)據(jù)控制器,用于接收位移傳感器發(fā)送的偏移量,并根據(jù)偏移量調(diào)控位移調(diào)節(jié)器;本發(fā)明可提高制備的晶圓質(zhì)量;工作人員能及時(shí)發(fā)現(xiàn)問題降低失效率;避免由于偏移量的不斷增大造成機(jī)臺(tái)部件的損壞;減少由工藝組件位置偏移導(dǎo)致的機(jī)臺(tái)停機(jī)排查率以及減少維修時(shí)間及降低維修難度的問題。
聲明:
“半導(dǎo)體加工設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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