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光刻設備硅片承載臺、組裝方法及光刻設備

836   編輯：管理員   來源：中冶有色技術網  
2023-03-19 09:20:06
本發(fā)明提供一種光刻設備硅片承載臺、及其組裝方法和光刻設備，涉及光刻設備的技術領域。其中，光刻設備硅片承載臺，包括短行程模塊、轉接結構和橋接板組件，轉接結構與短行程模塊固定連接，轉接結構與橋接板組件可拆卸地固定連接。該光刻設備硅片承載臺，通過將橋接板組件與橋接板組件可拆卸的固定連接，當測量硅片臺和曝光硅片臺發(fā)生碰撞導致橋接板組件發(fā)生破壞，或橋接板組件的上表面的疏水涂層因時間或碰撞發(fā)生失效時，將轉接結構與橋接板組件拆開，更換發(fā)生損壞的橋接板組件。
聲明：
“光刻設備硅片承載臺、組裝方法及光刻設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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