本發(fā)明提供一種異質(zhì)材料表面絕緣結(jié)構(gòu)激光加工系統(tǒng)及加工方法,主要解決異質(zhì)材料絕緣結(jié)構(gòu)存在加工質(zhì)量不高、對(duì)加工材料產(chǎn)生損傷以及加工邊沿平整度較差,導(dǎo)致構(gòu)件絕緣阻抗大幅降低和失效的問(wèn)題。該異質(zhì)材料表面絕緣結(jié)構(gòu)激光加工系統(tǒng)包括飛秒激光器、空心電機(jī)、同軸視覺(jué)系統(tǒng)以及依次設(shè)置在飛秒激光器的激光輸出光路上的擴(kuò)束鏡、第一反射鏡、徑向偏振片、第二反射鏡、第三反射鏡、楔形鏡、道威棱鏡、第四反射鏡、聚焦鏡;空心電機(jī)用于帶動(dòng)道威棱鏡實(shí)現(xiàn)高速旋轉(zhuǎn);同軸視覺(jué)系統(tǒng)用于實(shí)現(xiàn)加工區(qū)域的定位和觀測(cè)。該激光加工系統(tǒng)精度和穩(wěn)定性高可抑制基底材料損傷,絕緣結(jié)構(gòu)的邊沿形貌平整、一致性高。
聲明:
“異質(zhì)材料表面絕緣結(jié)構(gòu)激光加工系統(tǒng)及加工方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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