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氧氣光學(xué)檢測(cè)裝置的制作方法

1664   編輯:中冶有色技術(shù)網(wǎng)   來源:南京浦光芯片科技有限公司  
2023-10-30 15:50:39
一種氧氣光學(xué)檢測(cè)裝置的制作方法

1.本發(fā)明涉及光電子信息技術(shù)與光電傳感與物聯(lián)網(wǎng)領(lǐng)域,具體涉及一種氧氣光學(xué)檢測(cè)裝置。

背景技術(shù):

2.氧氣在大自然中分布非常廣泛,占大氣成分的21%。氧氣是工業(yè)生產(chǎn)、日常生活、醫(yī)療健康、航空航天等領(lǐng)域極其重要的氣體。同時(shí)作為一種重要的助燃?xì)怏w,氧氣和易燃易爆氣體混合容易爆炸。如果氧氣濃度不達(dá)標(biāo)或者控制不精確,導(dǎo)致嚴(yán)重的事故。所以氧氣的實(shí)時(shí)檢測(cè)非常重要。對(duì)氧氣濃度的檢測(cè)需要滿足準(zhǔn)確性、適應(yīng)性、便攜性等多方面的要求。

3.目前氧氣的檢測(cè)主要是非光學(xué)法和光學(xué)法兩大類。非光學(xué)法常采用電化學(xué)方法,比如采用基于氧化鋯材料的電化學(xué)傳感器。氧氣的濃度差形成氧化鋯材料電勢(shì)差,從而檢測(cè)濃度信息。該方法成本低、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便,但是該方法對(duì)溫度要求高、壽命短等缺點(diǎn)。基于氧氣的順磁性實(shí)現(xiàn)濃度檢測(cè)時(shí)氧氣檢測(cè)另一種重要非光學(xué)檢測(cè)法。氧氣因順磁性會(huì)在磁場(chǎng)中聚居,形成氣體濃度的改變,從而形成氣壓差,通過機(jī)械轉(zhuǎn)動(dòng)等方式得到氧氣的濃度信息。該方法響應(yīng)時(shí)間短、壽命長,但是容易受到震動(dòng)等影響。

4.氧氣光學(xué)法主要基于吸收譜測(cè)試。氧氣在760nm波長附近具有一系列的光吸收峰。激光發(fā)出吸收峰對(duì)應(yīng)的波長,根據(jù)氣體光吸收量的大小判斷氧氣的濃度。該方法也常被稱為可調(diào)諧二極管激光吸收光譜(tdlas)檢測(cè)技術(shù)。這種技術(shù)具有非接觸式、響應(yīng)快、與信息系統(tǒng)兼容等優(yōu)勢(shì)。該方法需要半導(dǎo)體激光器、探測(cè)器、電控系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)等復(fù)雜結(jié)構(gòu),成本很高。另外因?yàn)樵?60nm波段,氧氣對(duì)光吸收強(qiáng)度并不高,所以檢測(cè)誤差較大。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

5.本發(fā)明的目的是提出一種基于氧氣順磁性結(jié)合雙臂馬赫曾德爾干涉儀的光學(xué)檢測(cè)法,該方法成本低、精度高、傳感頭無電源、抗干擾強(qiáng)、且和信息網(wǎng)絡(luò)兼容,適合復(fù)雜環(huán)境實(shí)時(shí)在線高精度檢測(cè)與物聯(lián)網(wǎng)等傳感網(wǎng)絡(luò)應(yīng)用。

6.為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供的技術(shù)方案是:

7.一種氧氣光學(xué)檢測(cè)裝置,使用激光器作為光源,經(jīng)過光纖分路器傳導(dǎo),采用光纖雙臂馬赫曾德爾干涉儀光學(xué)系統(tǒng),包括對(duì)應(yīng)的第一光纖雙臂、第二光纖雙臂,其中第一光纖雙臂通過第一透鏡光纖端面出射平行光束,光經(jīng)過空間傳播區(qū)傳播后經(jīng)過第二透鏡光纖端面耦合到第二光纖雙臂,光經(jīng)過第二光纖雙臂傳播后y分支合波進(jìn)入單根光纖輸出;在第一光纖雙臂、第二光纖雙臂的其中一個(gè)對(duì)應(yīng)的臂的空間傳播區(qū)內(nèi)裝配有磁性材料,光傳播經(jīng)過磁性材料形成的磁場(chǎng)區(qū)域,該磁場(chǎng)區(qū)域?yàn)檠鯕鉂舛葯z測(cè)區(qū)域,利用光電探測(cè)器探測(cè)輸出光的強(qiáng)度變化得到氧氣濃度信息。

8.進(jìn)一步的,入射光通過半透半反膜或者分束棱鏡進(jìn)行分束,在其中一束光的傳播路徑上裝配磁性材料,光在經(jīng)過半透半反膜或者分束棱鏡合束輸出。

9.作為其中一個(gè)優(yōu)選的方案,在第一光纖雙臂后裝配擴(kuò)束透鏡,在第二光纖雙臂前

裝配匯聚透鏡,光通過第一光纖雙臂出射后經(jīng)過擴(kuò)束透鏡形成平行光束,再經(jīng)過匯聚透鏡耦合進(jìn)入第二光纖雙臂。

10.作為另一個(gè)優(yōu)選的方案,在第一光纖雙臂、第二光纖雙臂的其中一個(gè)對(duì)應(yīng)的臂的空間傳播區(qū)內(nèi)裝配三個(gè)平面反射鏡和一個(gè)凹面反射鏡,光經(jīng)過三次平面反射鏡以及一次凹面反射鏡耦合到入第二光纖雙臂,增加一個(gè)臂的光程,該臂的空間傳播區(qū)裝配磁性材料作為氧氣濃度檢測(cè)區(qū)域。

11.進(jìn)一步的,所述的磁性材料為通過材料鍍膜直接生長或者物理機(jī)械裝配的方式固定在光的空間傳播區(qū)。

12.作為優(yōu)選的方案,所述的磁性材料直接鍍膜在第一光纖雙臂、第二光纖雙臂的其中一個(gè)對(duì)應(yīng)的臂之間的空間傳播區(qū),該區(qū)域?yàn)檠鯕鈾z測(cè)區(qū)域。

13.或者,所述的磁性材料采用通電線圈。

14.進(jìn)一步的,在光纖雙臂馬赫曾德爾干涉儀上裝配熱敏電阻,以監(jiān)控環(huán)境溫度,對(duì)檢測(cè)光信號(hào)進(jìn)行穩(wěn)定修正。

15.或者,將氧氣光學(xué)檢測(cè)裝置裝配在溫度控制器上,以保持溫度穩(wěn)定,消除溫度的影響。

16.進(jìn)一步的,所述的激光器采用可調(diào)諧激光器,通過同時(shí)檢測(cè)輸出光譜的周期以及出光功率的整體變化實(shí)現(xiàn)氧氣濃度和溫度的同時(shí)檢測(cè)。

17.與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的有益效果是:

18.本發(fā)明的檢測(cè)設(shè)備在光學(xué)雙臂馬赫曾德爾干涉儀的一個(gè)光學(xué)臂裝配磁性材料,氧氣濃度的改變導(dǎo)致光在雙臂中傳播的光程不同,從而光的干涉狀態(tài)發(fā)生改變,通過探測(cè)馬赫曾德爾干涉儀輸出光功率的大小,實(shí)現(xiàn)氧氣濃度的檢測(cè)。本發(fā)明的檢測(cè)裝置具有結(jié)構(gòu)緊湊、無源、抗電磁干擾等優(yōu)點(diǎn)。

19.本發(fā)明的方案基于光電技術(shù),可以方便地和現(xiàn)有的光電信息系統(tǒng)、傳感網(wǎng)絡(luò)、物聯(lián)網(wǎng)相兼容,實(shí)現(xiàn)氧氣在線信息采集、分析和控制。

20.本發(fā)明的氧氣光學(xué)檢測(cè)裝置可以應(yīng)用于氧氣在工業(yè)化工、石油天然氣存儲(chǔ)、生物醫(yī)療等多種領(lǐng)域內(nèi)的氧氣高精度檢測(cè)。

附圖說明

21.圖1:輸出光功率與氧氣濃度的變化示意圖。

22.圖2:本發(fā)明的氧氣光學(xué)檢測(cè)器的原理結(jié)構(gòu)示意圖。

23.圖3:溫度改變非對(duì)稱馬赫曾德爾干涉儀的透射光譜周期改變示意圖。

24.圖4:基于擴(kuò)束透鏡和匯聚透鏡組成空間傳播區(qū)圖。

25.圖5:非對(duì)稱雙臂長光程結(jié)構(gòu)圖。

26.圖6:基于半透半反膜的雙臂馬赫曾德爾干涉儀結(jié)構(gòu)圖。

27.圖7:基于分束棱鏡的雙臂馬赫曾德爾干涉儀結(jié)構(gòu)圖。

28.圖8:磁性材料鍍膜在光纖上的示意圖。

29.圖9:磁性材料鍍膜在載體上的示意圖。

具體實(shí)施方式

30.以下通過實(shí)施例的形式對(duì)本發(fā)明的上述內(nèi)容再作進(jìn)一步的詳細(xì)說明,但不應(yīng)將此理解為本發(fā)明上述主題的范圍僅限于以下的實(shí)施例,凡基于本發(fā)明上述內(nèi)容所實(shí)現(xiàn)的技術(shù)均屬于本發(fā)明的范圍。

31.在本發(fā)明的描述中,還需要說明的是:術(shù)語如“第一、第二或第三”僅用于描述目的,而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言,可依據(jù)具體情況理解上述術(shù)語在本發(fā)明中的具體含義。

32.本發(fā)明提供了一種氧氣光學(xué)檢測(cè)裝置,使用激光器作為光源,經(jīng)過光纖分路器傳導(dǎo),采用光纖雙臂馬赫曾德爾干涉儀光學(xué)系統(tǒng),包括對(duì)應(yīng)的第一光纖雙臂、第二光纖雙臂,其中第一光纖雙臂通過第一透鏡光纖端面出射平行光束,光經(jīng)過空間傳播區(qū)傳播后經(jīng)過第二透鏡光纖端面耦合到第二光纖雙臂,光經(jīng)過第二光纖雙臂傳播后y分支合波進(jìn)入單根光纖輸出;在第一光纖雙臂、第二光纖雙臂的其中一個(gè)對(duì)應(yīng)的臂的空間傳播區(qū)內(nèi)裝配有磁性材料,光傳播經(jīng)過磁性材料形成的磁場(chǎng)區(qū)域,該磁場(chǎng)區(qū)域?yàn)檠鯕鉂舛葯z測(cè)區(qū)域,利用光電探測(cè)器探測(cè)輸出光的強(qiáng)度變化得到氧氣濃度信息。

33.入射光通過半透半反膜或者分束棱鏡進(jìn)行分束,在其中一束光的傳播路徑上裝配磁性材料,光在經(jīng)過半透半反膜或者分束棱鏡合束輸出。

34.作為其中一個(gè)實(shí)施例,在第一光纖雙臂后裝配擴(kuò)束透鏡,在第二光纖雙臂前裝配匯聚透鏡,光通過第一光纖雙臂出射后經(jīng)過擴(kuò)束透鏡形成平行光束,再經(jīng)過匯聚透鏡耦合進(jìn)入第二光纖雙臂。

35.作為另一個(gè)實(shí)施例,在第一光纖雙臂、第二光纖雙臂的其中一個(gè)對(duì)應(yīng)的臂的空間傳播區(qū)內(nèi)裝配三個(gè)平面反射鏡和一個(gè)凹面反射鏡,光經(jīng)過三次平面反射鏡以及一次凹面反射鏡耦合到入第二光纖雙臂,增加一個(gè)臂的光程,該臂的空間傳播區(qū)裝配磁性材料作為氧氣濃度檢測(cè)區(qū)域。

36.磁性材料為通過材料鍍膜直接生長或者物理機(jī)械裝配的方式固定在光的空間傳播區(qū)。其中,磁性材料直接鍍膜在第一光纖雙臂、第二光纖雙臂的其中一個(gè)對(duì)應(yīng)的臂之間的空間傳播區(qū),該區(qū)域?yàn)檠鯕鈾z測(cè)區(qū)域?;蛘?,磁性材料采用通電線圈。

37.在光纖雙臂馬赫曾德爾干涉儀上裝配熱敏電阻,以監(jiān)控環(huán)境溫度,對(duì)檢測(cè)光信號(hào)進(jìn)行穩(wěn)定修正?;蛘?,將氧氣光學(xué)檢測(cè)裝置裝配在溫度控制器上,以保持溫度穩(wěn)定,消除溫度的影響。

38.實(shí)施例中,采用可調(diào)諧激光器,通過同時(shí)檢測(cè)輸出光譜的周期以及出光功率的整體變化實(shí)現(xiàn)氧氣濃度和溫度的同時(shí)檢測(cè)。

39.如圖1所示,是基于光纖雙臂馬赫曾德爾干涉儀氧氣濃度檢測(cè)器原理結(jié)構(gòu)示意圖。入射光通過y分支1:1進(jìn)入雙臂,即兩根光纖。光在光纖中傳播并在透鏡光纖出射端面近似平行光出射。在空間傳播區(qū)進(jìn)一步傳播后,通過透鏡光纖入射端面耦合再進(jìn)入光纖。光繼續(xù)在光纖中傳播后到y(tǒng)分支合波器,合波器將兩根光纖的光合波到一根光纖輸出。如果光在雙臂中傳輸?shù)墓獬滔嗤?,光纖出射端面相干相漲,輸出光功率為最大值。如果雙臂中光程不同導(dǎo)致具有光相位差180度相位差,y分支合波后光相干相消,最后在光纖出射段沒有光輸出,即輸出光功率為最小值0。如果相位差是其它值,那么輸出光功率介于最大值與0之間。

40.如果外界環(huán)境沒有任何變化,輸出光功率隨時(shí)間不會(huì)改變。設(shè)計(jì)雙臂的光程相同,

那么輸出為最大光功率。如果在一個(gè)臂的空間傳播區(qū)周圍裝配磁性材料或者采用線圈通電等方式,使得空間傳播區(qū)有外加磁場(chǎng)。因?yàn)檠醴肿泳哂许槾判?,氧分子?huì)向磁場(chǎng)方向移動(dòng)。所以有外加磁場(chǎng)的空間傳播區(qū)積聚較多的氧分子,分子濃度增加,空間折射率也增加。這個(gè)臂的光程增加,形成雙臂相位差,此時(shí)光功率下降,如圖1。當(dāng)環(huán)境氧氣濃度增加,空間傳播區(qū)聚集的氧分子濃度也響應(yīng)增加,雙臂相位差增加,輸出光功率變化?;谶@種結(jié)構(gòu)原理可以實(shí)現(xiàn)氧氣濃度的檢測(cè)。為了增加檢測(cè)靈敏度,可以增加外加磁場(chǎng)強(qiáng)度,或者有外加磁場(chǎng)的空間傳播區(qū)長度增加。

41.環(huán)境溫度的改變對(duì)雙臂馬赫曾德爾干涉儀中光的干涉造成影響。不同的溫度,外加磁場(chǎng)的空間傳播區(qū)氧氣聚集效果不同。所以可以在檢測(cè)裝置設(shè)置熱敏電阻檢測(cè)溫度的改變。通過溫度對(duì)檢測(cè)輸出光功率影響數(shù)據(jù)的積累,從而矯正氧氣濃度檢測(cè)信號(hào)。

42.對(duì)于非對(duì)稱雙臂結(jié)構(gòu),在外界溫度不變的情況下,輸出功率隨著波長改變而呈現(xiàn)周期性的改變,如圖3。雙臂管光程差越大,周期頻率越高。但是當(dāng)溫度改變后,因?yàn)殡p臂所在空間的折射率都發(fā)生改變,根據(jù)雙臂光相位差的公式,

[0043][0044]

其中n1和l1,n2和l2是分別兩個(gè)臂的折射率與臂長。它們都是溫度的函數(shù),所以溫度的改變相位差也會(huì)發(fā)生改變。此外,因?yàn)檠鯕鉂舛热绻l(fā)生改變,雙臂光相位差也會(huì)改變。溫度和氧氣濃度改變導(dǎo)致的相位差會(huì)累加在一起。兩者綜合效應(yīng)導(dǎo)致輸出光的光譜周期也會(huì)發(fā)生改變。同時(shí)光傳輸不同濃度因?yàn)樯⑸鋼p耗導(dǎo)致了光具有不同的傳輸損耗和耦合損耗,所以輸出光功率極大和極小值也會(huì)發(fā)生變化?;诳烧{(diào)諧激光器掃描波長檢測(cè)功率的周期性,以及通過光探測(cè)器檢測(cè)出光功率峰值,從而在同時(shí)檢測(cè)氧氣濃度信息同時(shí)檢測(cè)環(huán)境溫度信息。當(dāng)然如果需要避免外界溫度的影響,可以將檢測(cè)裝置安裝在溫度控制器上,確保溫度的穩(wěn)定。

[0045]

本發(fā)明提出的氧氣檢測(cè)裝置基于光纖馬赫曾德爾雙臂結(jié)構(gòu),在雙臂空間傳播區(qū)的光纖出射端面和入射端面可以用透鏡光纖實(shí)現(xiàn),如圖2。此外,也可以采用擴(kuò)束透鏡和匯聚透鏡組成空間傳播區(qū),如圖4。擴(kuò)束透鏡的位置進(jìn)行優(yōu)化使得出射的光為平行光,匯聚透鏡的位置優(yōu)化后可以得到很高光到光纖耦合效率。這樣采用透鏡的方法可以更好地減小光的損耗,輸出功率大,探測(cè)傳感信號(hào)的信噪比高。

[0046]

為了增加空間傳播區(qū)光傳輸?shù)木嚯x。一個(gè)臂上可以采用如圖5所示的3平面反射鏡和一個(gè)凹面反射鏡形成長光程結(jié)構(gòu)。氧氣濃度的改變,光程變化大,雙臂的光相位差改變更加明顯,從而增加檢測(cè)的靈敏度。

[0047]

除開了光纖型結(jié)構(gòu),也可以采用空間光學(xué)的結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)雙臂馬赫曾德爾干涉儀結(jié)構(gòu)。如圖6所示,采用半透半反膜使光束1:1分成12束,其中1束光通過反射鏡后90度反射,在后續(xù)德光路上裝配磁性材料,設(shè)置外加磁場(chǎng)。另一束光經(jīng)過反射鏡90度反射,兩束光通過第二個(gè)半透半反膜合束。探測(cè)光功率的變化提取氧氣濃度信息。也可以采用分束棱鏡替代半透半反膜,如圖7所示。

[0048]

磁性材料可以采用一般永磁材料,包括鋁鎳鈷,鐵氧體等,也可以采用稀土永磁材料,包括釤鈷,釹鐵硼等。利用機(jī)械裝配將磁鐵固定在空間傳播區(qū)兩側(cè)。此外也可以將磁性材料直接鍍膜在光纖或者載體上,如圖8和9。磁性材料的鍍膜方法比如真空蒸發(fā)法。即在真

空狀態(tài)下將加熱蒸發(fā)的磁性材料沉積在基片上。電沉積法,即將磁性材料和基片做成陽極和陰極,在電解液中通過電化學(xué)作用,磁性陽極材料沉積到陰極基片上?;蛘呤菫R射法。即將磁性陽極材料和基片分別作為陰極和陽極,在抽真空后又充入惰性氣體電離成離子并高速轟擊陰極,使陰極表面濺射出的原子附著于陽極基片上。此外,還有外延生長法、化學(xué)鍍膜法等。

[0049]

以上所述,僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例,并非對(duì)本發(fā)明作任何形式上的限制,任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員,在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi),依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì),對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單的修改、等同替換與改進(jìn)等,均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的保護(hù)范圍之內(nèi)。技術(shù)特征:

1.一種氧氣光學(xué)檢測(cè)裝置,其特征在于:使用激光器作為光源,經(jīng)過光纖分路器傳導(dǎo),采用光纖雙臂馬赫曾德爾干涉儀光學(xué)系統(tǒng),包括對(duì)應(yīng)的第一光纖雙臂、第二光纖雙臂,其中第一光纖雙臂通過第一透鏡光纖端面出射平行光束,光經(jīng)過空間傳播區(qū)傳播后經(jīng)過第二透鏡光纖端面耦合到第二光纖雙臂,光經(jīng)過第二光纖雙臂傳播后y分支合波進(jìn)入單根光纖輸出;在第一光纖雙臂、第二光纖雙臂的其中一個(gè)對(duì)應(yīng)的臂的空間傳播區(qū)內(nèi)裝配有磁性材料,光傳播經(jīng)過磁性材料形成的磁場(chǎng)區(qū)域,該磁場(chǎng)區(qū)域?yàn)檠鯕鉂舛葯z測(cè)區(qū)域,利用光電探測(cè)器探測(cè)輸出光的強(qiáng)度變化得到氧氣濃度信息。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氧氣光學(xué)檢測(cè)裝置,其特征在于:入射光通過半透半反膜或者分束棱鏡進(jìn)行分束,在其中一束光的傳播路徑上裝配磁性材料,光在經(jīng)過半透半反膜或者分束棱鏡合束輸出。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氧氣光學(xué)檢測(cè)裝置,其特征在于:在第一光纖雙臂后裝配擴(kuò)束透鏡,在第二光纖雙臂前裝配匯聚透鏡,光通過第一光纖雙臂出射后經(jīng)過擴(kuò)束透鏡形成平行光束,再經(jīng)過匯聚透鏡耦合進(jìn)入第二光纖雙臂。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氧氣光學(xué)檢測(cè)裝置,其特征在于:在第一光纖雙臂、第二光纖雙臂的其中一個(gè)對(duì)應(yīng)的臂的空間傳播區(qū)內(nèi)裝配三個(gè)平面反射鏡和一個(gè)凹面反射鏡,光經(jīng)過三次平面反射鏡以及一次凹面反射鏡耦合到入第二光纖雙臂,增加一個(gè)臂的光程,該臂的空間傳播區(qū)裝配磁性材料作為氧氣濃度檢測(cè)區(qū)域。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氧氣光學(xué)檢測(cè)裝置,其特征在于:所述的磁性材料為通過材料鍍膜直接生長或者物理機(jī)械裝配的方式固定在光的空間傳播區(qū)。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的氧氣光學(xué)檢測(cè)裝置,其特征在于:所述的磁性材料直接鍍膜在第一光纖雙臂、第二光纖雙臂的其中一個(gè)對(duì)應(yīng)的臂之間的空間傳播區(qū),該區(qū)域?yàn)檠鯕鈾z測(cè)區(qū)域。7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的氧氣光學(xué)檢測(cè)裝置,其特征在于:所述的磁性材料采用通電線圈。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氧氣光學(xué)檢測(cè)裝置,其特征在于:在光纖雙臂馬赫曾德爾干涉儀上裝配熱敏電阻,以監(jiān)控環(huán)境溫度,對(duì)檢測(cè)光信號(hào)進(jìn)行穩(wěn)定修正。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氧氣光學(xué)檢測(cè)裝置,其特征在于:將氧氣光學(xué)檢測(cè)裝置裝配在溫度控制器上,以保持溫度穩(wěn)定,消除溫度的影響。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氧氣光學(xué)檢測(cè)裝置,其特征在于:所述的激光器采用可調(diào)諧激光器,通過同時(shí)檢測(cè)輸出光譜的周期以及出光功率的整體變化實(shí)現(xiàn)氧氣濃度和溫度的同時(shí)檢測(cè)。

技術(shù)總結(jié)

本發(fā)明涉及一種氧氣光學(xué)檢測(cè)裝置,使用激光器作為光源,經(jīng)過光纖分路器傳導(dǎo),采用光纖雙臂馬赫曾德爾干涉儀光學(xué)系統(tǒng),包括對(duì)應(yīng)的第一光纖雙臂、第二光纖雙臂,其中第一光纖雙臂通過第一透鏡光纖端面出射平行光束,光經(jīng)過空間傳播區(qū)傳播后經(jīng)過第二透鏡光纖端面耦合到第二光纖雙臂,光經(jīng)過第二光纖雙臂傳播后Y分支合波進(jìn)入單根光纖輸出;在第一光纖雙臂、第二光纖雙臂的其中一個(gè)對(duì)應(yīng)的臂的空間傳播區(qū)內(nèi)裝配有磁性材料,光傳播經(jīng)過磁性材料形成的磁場(chǎng)區(qū)域,該磁場(chǎng)區(qū)域?yàn)檠鯕鉂舛葯z測(cè)區(qū)域,利用光電探測(cè)器探測(cè)輸出光的強(qiáng)度變化得到氧氣濃度信息。本發(fā)明的檢測(cè)裝置具有結(jié)構(gòu)緊湊、無源、抗電磁干擾等優(yōu)點(diǎn)。抗電磁干擾等優(yōu)點(diǎn)??闺姶鸥蓴_等優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員:楊炳雄 徐洋 施躍春

受保護(hù)的技術(shù)使用者:南京浦光芯片科技有限公司

技術(shù)研發(fā)日:2021.11.29

技術(shù)公布日:2022/3/18
聲明:
“氧氣光學(xué)檢測(cè)裝置的制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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