1.本發(fā)明涉及光學(xué)檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種半導(dǎo)體光學(xué)檢測(cè)方法及系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

2.近年來(lái)，集成電路發(fā)展愈加迅速，而由于集成電路持續(xù)向更小的外形尺寸發(fā)展，對(duì)微小尺寸快速而精準(zhǔn)的檢測(cè)能力也變得越發(fā)重要，因此使用自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備(auto optical inspection,aoi)替代傳統(tǒng)的人工目檢，已成為技術(shù)發(fā)展的必然趨勢(shì)。aoi設(shè)備憑借其高速率、高準(zhǔn)確度地定位和識(shí)別微小缺陷的能力，在半導(dǎo)體、通訊、汽車、醫(yī)療等領(lǐng)域廣泛使用。

3.目前的aoi設(shè)備通常如圖1所示，包括光學(xué)系統(tǒng)、物料轉(zhuǎn)移系統(tǒng)、數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)等。其中光學(xué)系統(tǒng)主要包括照明系統(tǒng)101、成像鏡頭102和探測(cè)器103。照明系統(tǒng)101負(fù)責(zé)提供檢測(cè)所需的照明光，成像鏡頭102用于收集來(lái)自目標(biāo)的待測(cè)光信號(hào)，探測(cè)器103負(fù)責(zé)將光信號(hào)轉(zhuǎn)化為數(shù)字信號(hào)。但是由于設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)多樣化，目標(biāo)的不同部分通常具有不同的反射率，以工藝硅片為例，不同區(qū)域的反射率分布可達(dá)10％～90％，因此在一次拍攝中，很可能存在部分區(qū)域仍然很暗但部分區(qū)域已經(jīng)過(guò)曝的情況，嚴(yán)重影響檢測(cè)效果。

4.傳統(tǒng)的aoi檢測(cè)設(shè)備在處理這種問(wèn)題時(shí)，通常采用的方法有兩種，一種是犧牲檢測(cè)效果保證檢測(cè)速度，即選取適當(dāng)?shù)恼彰鞴鈴?qiáng)，并接受測(cè)試結(jié)果的部分區(qū)域飽和及部分區(qū)域較暗，另一種是犧牲檢測(cè)速度保證檢測(cè)效果，即調(diào)節(jié)照明光強(qiáng)度，分別使用不同光強(qiáng)對(duì)待測(cè)目標(biāo)進(jìn)行多次拍攝，然后對(duì)不同區(qū)域分別選取合適的光強(qiáng)拍攝的結(jié)果來(lái)進(jìn)行處理，以得到準(zhǔn)確的檢測(cè)結(jié)果，但拍照多次檢測(cè)較慢，影響檢測(cè)效率。

5.因此，有必要提供一種新型的半導(dǎo)體光學(xué)檢測(cè)方法及系統(tǒng)以解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

6.本發(fā)明的目的在于提供一種半導(dǎo)體光學(xué)檢測(cè)方法及系統(tǒng)，能夠?qū)哂胁煌瓷渎实哪繕?biāo)進(jìn)行表面快速檢測(cè)，大幅度提高了檢測(cè)效率。

7.為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的所述一種半導(dǎo)體光學(xué)檢測(cè)方法，包括：

8.采用光學(xué)系統(tǒng)對(duì)待測(cè)樣本進(jìn)行拍攝以得到初始圖片，根據(jù)所述初始圖片中不同區(qū)域的信號(hào)強(qiáng)度的大小將所述待測(cè)樣本劃分為若干個(gè)信號(hào)區(qū)域；

9.獲取每一個(gè)所述信號(hào)區(qū)域的反射率信息和所述光學(xué)系統(tǒng)中每一種顏色光的系統(tǒng)光學(xué)效率信息；

10.調(diào)整所述光學(xué)系統(tǒng)中的檢測(cè)光源的不同配置的光強(qiáng)，并根據(jù)所述反射率信息和所述系統(tǒng)光學(xué)效率信息計(jì)算得到不同光強(qiáng)的所述光學(xué)系統(tǒng)在所述信號(hào)區(qū)域中的信號(hào)強(qiáng)度；

11.計(jì)算所述信號(hào)區(qū)域中的信號(hào)強(qiáng)度與預(yù)設(shè)檢測(cè)強(qiáng)度之間的方差，在所述方差小于第一預(yù)設(shè)閾值時(shí)將所述檢測(cè)光源對(duì)應(yīng)的光強(qiáng)信息作為目標(biāo)光強(qiáng)配置信息；

12.按照所述目標(biāo)光強(qiáng)配置信息對(duì)所述檢測(cè)光源進(jìn)行配置后，通過(guò)所述光學(xué)系統(tǒng)對(duì)待

測(cè)目標(biāo)進(jìn)行拍攝以獲取檢測(cè)結(jié)果。

13.本發(fā)明所述半導(dǎo)體光學(xué)檢測(cè)方法的有益效果在于：在上述方法中，通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)對(duì)待測(cè)樣本進(jìn)行檢測(cè)分析，從而將待測(cè)樣本表面劃分為若干個(gè)信號(hào)區(qū)域，之后通過(guò)不同配置的光強(qiáng)對(duì)待測(cè)樣本進(jìn)行測(cè)試以得到滿足檢測(cè)要求的目標(biāo)光強(qiáng)配置信息，以便于后續(xù)通過(guò)目標(biāo)光強(qiáng)配置信息對(duì)檢測(cè)光源進(jìn)行配置，并通過(guò)配置后的光學(xué)系統(tǒng)對(duì)多個(gè)待測(cè)目標(biāo)進(jìn)行快速檢測(cè)，在保證檢測(cè)結(jié)果準(zhǔn)確的同時(shí)，能夠有效提高檢測(cè)效率。

14.可選的，所述根據(jù)所述初始圖片中不同區(qū)域的信號(hào)強(qiáng)度的大小將所述待測(cè)樣本劃分為若干個(gè)信號(hào)區(qū)域，包括：

15.在確定所述初始圖片的區(qū)域中沒(méi)有出現(xiàn)光信號(hào)飽和之后，獲取所述初始圖片中不同區(qū)域的信號(hào)強(qiáng)度，根據(jù)所述初始圖片不同區(qū)域信號(hào)強(qiáng)度的不同，將所述初始圖片在所述待測(cè)樣本上對(duì)應(yīng)的區(qū)域劃分為若干個(gè)信號(hào)區(qū)域。

16.可選的，所述根據(jù)所述初始圖片中不同區(qū)域的信號(hào)強(qiáng)度的大小將所述待測(cè)樣本劃分為若干個(gè)信號(hào)區(qū)域，包括：

17.在確定所述初始圖片的區(qū)域中出現(xiàn)至少一種顏色的光信號(hào)飽和后，在所述光學(xué)系統(tǒng)中調(diào)整出現(xiàn)飽和的光信號(hào)，并用所述光學(xué)系統(tǒng)再次拍攝所述待測(cè)樣本以得到新的初始圖片，直至新的所述初始圖片中沒(méi)有區(qū)域出現(xiàn)光信號(hào)飽和；

18.獲取所述初始圖片中不同區(qū)域的信號(hào)強(qiáng)度，根據(jù)所述初始圖片不同區(qū)域信號(hào)強(qiáng)度的不同，將所述初始圖片在所述待測(cè)樣本上對(duì)應(yīng)的區(qū)域劃分為若干個(gè)信號(hào)區(qū)域。

19.可選的，所述檢測(cè)光源包括紅光、綠光和藍(lán)光三種光源。

20.可選的，第i個(gè)所述信號(hào)區(qū)域中的信號(hào)強(qiáng)度di滿足如下公式：

21.di＝ρ

ir

×

prηr+ρ

ig

×

pgηg+ρ

ib

×

pbηb22.其中，所述信號(hào)區(qū)域的數(shù)量為n個(gè)，ρ

ir

為第i個(gè)所述信號(hào)區(qū)域中的紅光反射率，ρ

ig

為第i個(gè)所述信號(hào)區(qū)域中的綠光反射率，ρ

ib

為第i個(gè)所述信號(hào)區(qū)域中的藍(lán)光反射率，pr為所述檢測(cè)光源中的紅光光強(qiáng)，ηr為所述光學(xué)系統(tǒng)對(duì)紅光的光學(xué)效率，pg為所述檢測(cè)光源中的綠光光強(qiáng)，ηg為所述光學(xué)系統(tǒng)對(duì)綠光的光學(xué)效率，pb為所述檢測(cè)光源中的藍(lán)光光強(qiáng)，ηb為所述光學(xué)系統(tǒng)對(duì)藍(lán)光的光學(xué)效率，i和n均為正整數(shù)，0＜i≤n。

23.可選的，在調(diào)整所述光學(xué)系統(tǒng)中的檢測(cè)光源不同配置的光強(qiáng)，并根據(jù)所述反射率信息和所述系統(tǒng)光學(xué)效率信息計(jì)算得到不同光強(qiáng)的所述光學(xué)系統(tǒng)在所述信號(hào)區(qū)域中的信號(hào)強(qiáng)度后，所述方法還包括：

24.獲取所述檢測(cè)光源中不同顏色光的噪聲系數(shù)；

25.根據(jù)所述噪聲系數(shù)與所述方差計(jì)算所述檢測(cè)光源中光信號(hào)的信噪比方差；

26.在所述信噪比方差小于第二預(yù)設(shè)閾值時(shí)將所述檢測(cè)光源對(duì)應(yīng)的光強(qiáng)信息作為目標(biāo)光強(qiáng)配置信息；

27.按照所述目標(biāo)光強(qiáng)配置信息對(duì)所述檢測(cè)光源進(jìn)行配置后，通過(guò)所述光學(xué)系統(tǒng)對(duì)待測(cè)目標(biāo)進(jìn)行拍攝以獲取檢測(cè)結(jié)果。其有益效果在于：考慮到噪聲系數(shù)對(duì)光學(xué)系統(tǒng)的影響，從原來(lái)的根據(jù)方差確定目標(biāo)光強(qiáng)配置信息更改為根據(jù)信噪比方差確定目標(biāo)光強(qiáng)配置信息，從而有效減小不同顏色光的噪聲系數(shù)的影響，提高后續(xù)檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性。

28.可選的，所述信噪比方差滿足如下公式：

[0029][0030]

其中，pr為所述檢測(cè)光源中的紅光光強(qiáng)，pg為所述檢測(cè)光源中的綠光光強(qiáng)，pb為所述檢測(cè)光源中的藍(lán)光光強(qiáng)，η

nr

為紅光的噪聲系數(shù)，η

ng

為綠光的噪聲系數(shù)，η

nb

為藍(lán)光的噪聲系數(shù)，b為第二預(yù)設(shè)閾值，i和n均為正整數(shù)，0＜i≤n。

[0031]

可選的，所述光學(xué)系統(tǒng)包括：

[0032]

發(fā)光組件，用于提供光源；

[0033]

反射組件，用于將所述光源反射至目標(biāo)區(qū)域并接收從所述目標(biāo)區(qū)域反射回來(lái)的反射光；

[0034]

接收器，用于接收所述反射光并對(duì)所述反射光進(jìn)行檢測(cè)；

[0035]

其中，所述發(fā)光組件包括若干個(gè)單色光源、第一分光棱鏡和聚焦透鏡，所述單色光源產(chǎn)生的光線經(jīng)過(guò)所述第一分光棱鏡后傳輸?shù)剿鼍劢雇哥R后聚焦，并通過(guò)所述聚焦透鏡將聚焦后的光線傳輸?shù)剿龇瓷浣M件。

[0036]

可選的，所述接收器包括若干個(gè)接收組件，所述接收組件的數(shù)量與所述單色光源的數(shù)量相同，所述接收組件包括第二分光棱鏡、濾光片和彩色相機(jī)，所述第二分光棱鏡用于將所述反射光反射到所述濾光片，所述濾光片用于對(duì)所述反射光進(jìn)行濾光處理，所述彩色相機(jī)用于對(duì)濾光處理后的所述反射光進(jìn)行處理以得到最終的檢測(cè)結(jié)果。

[0037]

本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)，包括：

[0038]

區(qū)域劃分模塊，用于采用光學(xué)系統(tǒng)對(duì)待測(cè)樣本進(jìn)行拍攝以得到初始圖片，根據(jù)所述初始圖片中不同區(qū)域的信號(hào)強(qiáng)度的大小將所述待測(cè)樣本劃分為若干個(gè)信號(hào)區(qū)域；

[0039]

信息獲取模塊，用于獲取每一個(gè)所述信號(hào)區(qū)域的反射率信息和所述光學(xué)系統(tǒng)中每一種顏色光的系統(tǒng)光學(xué)效率信息；

[0040]

強(qiáng)度計(jì)算模塊，用于調(diào)整所述光學(xué)系統(tǒng)中的檢測(cè)光源不同配置的光強(qiáng)，并根據(jù)所述反射率信息和所述系統(tǒng)光學(xué)效率信息計(jì)算得到不同光強(qiáng)的所述光學(xué)系統(tǒng)在所述信號(hào)區(qū)域中的信號(hào)強(qiáng)度；

[0041]

目標(biāo)獲取模塊，用于計(jì)算所述信號(hào)區(qū)域中的信號(hào)強(qiáng)度與預(yù)設(shè)檢測(cè)強(qiáng)度之間的方差，在所述方差小于第一預(yù)設(shè)閾值時(shí)將所述光學(xué)系統(tǒng)對(duì)應(yīng)的光強(qiáng)信息作為目標(biāo)光強(qiáng)配置信息；

[0042]

檢測(cè)模塊，用于按照所述目標(biāo)光強(qiáng)配置信息對(duì)所述檢測(cè)光源進(jìn)行配置后，通過(guò)所述光學(xué)系統(tǒng)對(duì)待測(cè)目標(biāo)進(jìn)行拍攝以獲取檢測(cè)結(jié)果。

[0043]

本發(fā)明所述半導(dǎo)體光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)的有益效果在于：在上述系統(tǒng)中，區(qū)域劃分模塊通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)對(duì)待測(cè)樣本進(jìn)行檢測(cè)分析，從而將待測(cè)樣本表面劃分為若干個(gè)信號(hào)區(qū)域，之后通過(guò)不同配置的光強(qiáng)對(duì)待測(cè)樣本進(jìn)行測(cè)試以得到滿足檢測(cè)要求的目標(biāo)光強(qiáng)配置信息，以便于檢測(cè)模塊后續(xù)通過(guò)目標(biāo)光強(qiáng)配置信息對(duì)檢測(cè)光源進(jìn)行配置，并通過(guò)配置后的光學(xué)系統(tǒng)對(duì)多個(gè)待測(cè)目標(biāo)進(jìn)行快速檢測(cè)，在保證檢測(cè)結(jié)果準(zhǔn)確的同時(shí)，能夠有效提高檢測(cè)效率。

附圖說(shuō)明

[0044]

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；

[0045]

圖2為本發(fā)明實(shí)施例所述半導(dǎo)體光學(xué)檢測(cè)方法的流程圖；

[0046]

圖3為本發(fā)明實(shí)施例所述半導(dǎo)體光學(xué)檢測(cè)方法中使用的光學(xué)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；

[0047]

圖4為本發(fā)明實(shí)施例所述光學(xué)系統(tǒng)中發(fā)光組件的結(jié)構(gòu)示意圖；

[0048]

圖5為本發(fā)明實(shí)施例所述光學(xué)系統(tǒng)中的接收器的結(jié)構(gòu)示意圖；

[0049]

圖6為本發(fā)明實(shí)施例所述半導(dǎo)體光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)框圖；

[0050]

圖7為本發(fā)明實(shí)施例所述半導(dǎo)體光學(xué)檢測(cè)方法的執(zhí)行過(guò)程示意圖。

具體實(shí)施方式

[0051]

為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本發(fā)明的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本發(fā)明的一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。除非另外定義，此處使用的技術(shù)術(shù)語(yǔ)或者科學(xué)術(shù)語(yǔ)應(yīng)當(dāng)為本發(fā)明所屬領(lǐng)域內(nèi)具有一般技能的人士所理解的通常意義。本文中使用的“包括”等類似的詞語(yǔ)意指出現(xiàn)該詞前面的元件或者物件涵蓋出現(xiàn)在該詞后面列舉的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。

[0052]

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的問(wèn)題，本發(fā)明的實(shí)施例提供了一種半導(dǎo)體光學(xué)檢測(cè)方法，參考圖2，包括如下步驟：

[0053]

s201、采用光學(xué)系統(tǒng)對(duì)待測(cè)樣本進(jìn)行拍攝以得到初始圖片，根據(jù)所述初始圖片中不同區(qū)域的信號(hào)強(qiáng)度的大小將所述待測(cè)樣本劃分為若干個(gè)信號(hào)區(qū)域。

[0054]

在一些實(shí)施例中，采用光學(xué)系統(tǒng)對(duì)待測(cè)樣本進(jìn)行拍攝以得到待測(cè)樣本完整的初始圖片，以便于后續(xù)根據(jù)初始圖片對(duì)待測(cè)樣本進(jìn)行區(qū)域劃分。

[0055]

需要說(shuō)明的是，所述初始圖片至少包括所述待測(cè)樣本的完整圖像，以便于對(duì)待測(cè)樣本進(jìn)行完整的區(qū)域劃分。

[0056]

而根據(jù)初始圖片中不同區(qū)域的信號(hào)強(qiáng)度的大小，將初始圖片對(duì)應(yīng)的待測(cè)樣本劃分為若干個(gè)信號(hào)區(qū)域的過(guò)程至少如下包括兩種情況。

[0057]

第一種情況：在確定所述初始圖片的區(qū)域中沒(méi)有出現(xiàn)光信號(hào)飽和之后，獲取所述初始圖片中不同區(qū)域的信號(hào)強(qiáng)度，根據(jù)所述初始圖片不同區(qū)域信號(hào)強(qiáng)度的不同，將所述初始圖片在所述待測(cè)樣本上對(duì)應(yīng)的區(qū)域劃分為若干個(gè)信號(hào)區(qū)域。

[0058]

具體的，所述光學(xué)系統(tǒng)包括檢測(cè)光源，當(dāng)光學(xué)系統(tǒng)對(duì)待測(cè)樣本進(jìn)行拍攝得到一張完整的初始圖片之后，如果初始圖片的每個(gè)區(qū)域中都沒(méi)有出現(xiàn)光信號(hào)飽和的情況，則表明當(dāng)前的初始圖片符合要求，可以按此對(duì)獲取初始圖片中每一個(gè)位置的信號(hào)強(qiáng)度，并根據(jù)初始圖片上不同的信號(hào)強(qiáng)度，將初始圖片在待測(cè)樣本上對(duì)應(yīng)的區(qū)域劃分為若干個(gè)信號(hào)區(qū)域，以便于后續(xù)獲取每一個(gè)信號(hào)區(qū)域的反射率。

[0059]

而針對(duì)第二種情況：在確定所述初始圖片的區(qū)域中出現(xiàn)至少一種顏色的光信號(hào)飽和后，在所述光學(xué)系統(tǒng)中調(diào)整出現(xiàn)飽和的光信號(hào)，并用所述光學(xué)系統(tǒng)再次拍攝所述待測(cè)樣本以得到新的初始圖片，直至新的所述初始圖片中沒(méi)有區(qū)域出現(xiàn)光信號(hào)飽和；

[0060]

獲取所述初始圖片中不同區(qū)域的信號(hào)強(qiáng)度，根據(jù)所述初始圖片不同區(qū)域信號(hào)強(qiáng)度的不同，將所述初始圖片在所述待測(cè)樣本上對(duì)應(yīng)的區(qū)域劃分為若干個(gè)信號(hào)區(qū)域。

[0061]

具體的，當(dāng)通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)得到待測(cè)樣本的初始圖片之后，當(dāng)初始圖片的任意一處區(qū)域出現(xiàn)一種或者多種顏色的光信號(hào)飽和之后，則表示此處的光信號(hào)強(qiáng)度無(wú)法準(zhǔn)確獲知，

因此需要對(duì)光學(xué)系統(tǒng)中出現(xiàn)光信號(hào)飽和的顏色對(duì)應(yīng)的光進(jìn)行調(diào)整，并對(duì)待測(cè)樣本進(jìn)行再次拍攝，以使得新的初始圖片中沒(méi)有光信號(hào)飽和的區(qū)域。

[0062]

在一些實(shí)施例中，在對(duì)光學(xué)系統(tǒng)的調(diào)整過(guò)程中，比如在初始圖片中，是光學(xué)系統(tǒng)中的紅色光在某一個(gè)區(qū)域出現(xiàn)飽和，則對(duì)應(yīng)減小所述檢測(cè)光源中的紅色光的強(qiáng)度，并以減弱檢測(cè)光源光強(qiáng)之后的光學(xué)系統(tǒng)再次拍攝待測(cè)樣本后得到新的初始圖片，反復(fù)調(diào)整，直至調(diào)整之后的光學(xué)系統(tǒng)拍攝的初始圖片中沒(méi)有出現(xiàn)光信號(hào)飽和的區(qū)域。

[0063]

在另外一些實(shí)施例中，所述光學(xué)系統(tǒng)中每次調(diào)整將當(dāng)前的光信號(hào)強(qiáng)度減弱50％，比如光學(xué)系統(tǒng)中飽和的紅光為255bit，則減弱之后為128bit，以便于拍攝的初始圖片中每一個(gè)區(qū)域中的光信號(hào)強(qiáng)度都能夠被檢測(cè)到。

[0064]

其中，所述檢測(cè)光源的光信號(hào)強(qiáng)度的減弱幅度根據(jù)不同的情況設(shè)定，只需滿足大于0，小于100％即可，此處不再贅述。

[0065]

需要說(shuō)明的是，在第二種情況的調(diào)整過(guò)程中，是先將檢測(cè)光源中的光強(qiáng)調(diào)至最大，并通過(guò)檢測(cè)是否出現(xiàn)光信號(hào)飽和的方式再逐漸減小，以完成調(diào)整過(guò)程。但是在實(shí)際檢測(cè)過(guò)程中，本方案也可以是將檢測(cè)光源中的光強(qiáng)由弱到強(qiáng)依次調(diào)整，直至得到滿足檢測(cè)要求的圖片，此處不再贅述。

[0066]

s202、獲取每一個(gè)所述信號(hào)區(qū)域的反射率信息和所述光學(xué)系統(tǒng)中每一種顏色光的系統(tǒng)光學(xué)效率信息。

[0067]

而當(dāng)通過(guò)調(diào)整后的光學(xué)系統(tǒng)對(duì)待測(cè)樣本拍攝得到的初始圖片中沒(méi)有光信號(hào)飽和的區(qū)域之后，獲取初始圖片中每一個(gè)區(qū)域光信號(hào)強(qiáng)度的大小，根據(jù)得到的光信號(hào)強(qiáng)度的大小就可以對(duì)應(yīng)得到初始圖片中每一個(gè)區(qū)域的反射率信息，從而也就得到待測(cè)樣本中每一個(gè)信號(hào)區(qū)域的反射率信息，并根據(jù)檢測(cè)出的光信號(hào)強(qiáng)度計(jì)算得到光學(xué)系統(tǒng)中不同顏色光信號(hào)的光照效率信息。

[0068]

s203、調(diào)整所述光學(xué)系統(tǒng)中的檢測(cè)光源不同配置的光強(qiáng)，并根據(jù)所述反射率信息和所述系統(tǒng)光學(xué)效率信息計(jì)算得到不同光強(qiáng)的所述光學(xué)系統(tǒng)在所述信號(hào)區(qū)域中的信號(hào)強(qiáng)度。

[0069]

在一些實(shí)施例中，所述檢測(cè)光源包括紅光、綠光和藍(lán)光三種光源。

[0070]

在上述基礎(chǔ)上，當(dāng)光學(xué)系統(tǒng)中有第i個(gè)所述信號(hào)區(qū)域中的信號(hào)強(qiáng)度di的計(jì)算過(guò)程如下：

[0071][0072]

也就是滿足如下公式：

[0073]di

＝ρ

ir

×

prηr+ρ

ig

×

pgηg+ρ

ib

×

pbηb[0074]

其中，所述信號(hào)區(qū)域的數(shù)量為n個(gè)，ρ

ir

為第i個(gè)所述信號(hào)區(qū)域中的紅光反射率，ρ

ig

為第i個(gè)所述信號(hào)區(qū)域中的綠光反射率，ρ

ib

為第i個(gè)所述信號(hào)區(qū)域中的藍(lán)光反射率，pr為所述檢測(cè)光源中的紅光光強(qiáng)，ηr為所述光學(xué)系統(tǒng)對(duì)紅光的光學(xué)效率，pg為所述檢測(cè)光源中的綠光光強(qiáng)，ηg為所述光學(xué)系統(tǒng)對(duì)綠光的光學(xué)效率，pb為所述檢測(cè)光源中的藍(lán)光光強(qiáng)，ηb為所述光學(xué)系統(tǒng)對(duì)藍(lán)光的光學(xué)效率，i和n均為正整數(shù)，0＜i≤n。

[0075]

s204、計(jì)算所述信號(hào)區(qū)域中的信號(hào)強(qiáng)度與預(yù)設(shè)檢測(cè)強(qiáng)度之間的方差，在所述方差小于第一預(yù)設(shè)閾值時(shí)將所述檢測(cè)光源對(duì)應(yīng)的光強(qiáng)信息作為目標(biāo)光強(qiáng)配置信息。

[0076]

s205、按照所述目標(biāo)光強(qiáng)配置信息對(duì)所述檢測(cè)光源進(jìn)行配置后，通過(guò)所述光學(xué)系統(tǒng)對(duì)待測(cè)目標(biāo)進(jìn)行拍攝以獲取檢測(cè)結(jié)果。

[0077]

具體的，參考圖7，整個(gè)過(guò)程分為光強(qiáng)設(shè)置階段和檢測(cè)階段，在光強(qiáng)設(shè)置階段，將待測(cè)樣本放置在待測(cè)區(qū)之后，分別將三種顏色的光強(qiáng)設(shè)置為100％，并通過(guò)當(dāng)前設(shè)置的光學(xué)系統(tǒng)對(duì)待測(cè)樣本拍攝照片，根據(jù)信號(hào)強(qiáng)度計(jì)算出待測(cè)樣本各處位置分別相對(duì)三種顏色光的反射率，如果出現(xiàn)信號(hào)某種顏色光飽和的情況，則適當(dāng)降低對(duì)應(yīng)的光強(qiáng)后繼續(xù)拍攝新的照片，直至新拍攝的照片中沒(méi)有出現(xiàn)光顏色飽和的情況。

[0078]

之后通過(guò)計(jì)算方差的方式計(jì)算出檢測(cè)效果最佳的顏色光組合以及光強(qiáng)配置，并以此對(duì)檢測(cè)光源進(jìn)行調(diào)整配置，通過(guò)調(diào)整之后的光學(xué)系統(tǒng)對(duì)后續(xù)的待測(cè)目標(biāo)進(jìn)行檢測(cè)，分別處理彩色相機(jī)圖片中不同顏色通道的信號(hào)數(shù)據(jù)，以便于完成對(duì)待測(cè)目標(biāo)的快速檢測(cè)過(guò)程。

[0079]

在本實(shí)施例中，為了將檢測(cè)光源調(diào)整到適合當(dāng)前待測(cè)樣本的光強(qiáng)配置，通過(guò)不斷調(diào)整檢測(cè)光源的光強(qiáng)配置，從而得到若干組在不同的初始圖片上對(duì)應(yīng)的信號(hào)強(qiáng)度，之后根據(jù)計(jì)算得到的若干組信號(hào)強(qiáng)度計(jì)算信號(hào)強(qiáng)度與預(yù)設(shè)檢測(cè)強(qiáng)度之間的方差，記為第一方差，并在第一方差小于第一預(yù)設(shè)閾值之后，將當(dāng)前的第一方差對(duì)應(yīng)的一組信號(hào)強(qiáng)度所對(duì)應(yīng)的檢測(cè)光源的光強(qiáng)信息作為目標(biāo)光強(qiáng)配置信息，并根據(jù)目標(biāo)光強(qiáng)配置信息對(duì)檢測(cè)光源進(jìn)行配置，并通過(guò)完成配置之后的光學(xué)系統(tǒng)對(duì)后續(xù)的待測(cè)目標(biāo)進(jìn)行檢測(cè)，以便于檢測(cè)出待測(cè)目標(biāo)表面的缺陷，從而得到準(zhǔn)確的檢測(cè)結(jié)果，而且能夠滿足同一批次大量的待測(cè)目標(biāo)的檢測(cè)過(guò)

程，提高了檢測(cè)效率。

[0080]

在一些實(shí)施例中，假設(shè)預(yù)設(shè)檢測(cè)強(qiáng)度為200，對(duì)檢測(cè)光源不斷調(diào)整而得到m組不同初始圖片上的信號(hào)強(qiáng)度的數(shù)據(jù)之后，每一組信號(hào)強(qiáng)度數(shù)據(jù)中都包含n個(gè)信號(hào)強(qiáng)度數(shù)，計(jì)算m組信號(hào)強(qiáng)度數(shù)據(jù)與預(yù)設(shè)檢測(cè)強(qiáng)度之間的第一方差s2，其中：

[0081][0082]

計(jì)算m組信號(hào)強(qiáng)度數(shù)據(jù)與預(yù)設(shè)檢測(cè)強(qiáng)度200之間的方差，并將m組信號(hào)強(qiáng)度數(shù)據(jù)中最小的方差對(duì)應(yīng)的檢測(cè)光源的光強(qiáng)信息作為目標(biāo)光強(qiáng)配置信息，并采用目標(biāo)光強(qiáng)配置信息對(duì)檢測(cè)光源進(jìn)行配置之后，對(duì)后續(xù)批量的待測(cè)目標(biāo)進(jìn)行拍攝檢測(cè)以獲取檢測(cè)結(jié)果。

[0083]

在另外一些實(shí)施例中，在調(diào)整所述光學(xué)系統(tǒng)中的檢測(cè)光源不同配置的光強(qiáng)，并根據(jù)所述反射率信息和所述系統(tǒng)光學(xué)效率信息計(jì)算得到不同光強(qiáng)的所述光學(xué)系統(tǒng)在所述信號(hào)區(qū)域中的信號(hào)強(qiáng)度后，所述方法還包括：

[0084]

獲取所述光學(xué)系統(tǒng)中不同顏色光的噪聲系數(shù)；

[0085]

根據(jù)所述噪聲系數(shù)與所述方差計(jì)算所述光學(xué)系統(tǒng)中光信號(hào)的信噪比方差；

[0086]

在所述信噪比方差小于第二預(yù)設(shè)閾值時(shí)將所述檢測(cè)光源對(duì)應(yīng)的光強(qiáng)信息作為目標(biāo)光強(qiáng)配置信息；

[0087]

按照所述目標(biāo)光強(qiáng)配置信息對(duì)所述檢測(cè)光源進(jìn)行配置后，通過(guò)所述光學(xué)系統(tǒng)對(duì)待測(cè)目標(biāo)進(jìn)行拍攝以獲取檢測(cè)結(jié)果。

[0088]

在本實(shí)施例中，考慮到噪聲系數(shù)對(duì)光學(xué)系統(tǒng)的影響，從原來(lái)的根據(jù)方差確定目標(biāo)光強(qiáng)配置信息更改為根據(jù)信噪比方差確定目標(biāo)光強(qiáng)配置信息，從而有效減小不同顏色光的噪聲系數(shù)的影響，提高后續(xù)檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性。

[0089]

在本實(shí)施例中，與前述的檢測(cè)方法的主要區(qū)別是在于通過(guò)不同顏色光的噪聲系數(shù)和前述計(jì)算得到的信號(hào)強(qiáng)度計(jì)算光學(xué)系統(tǒng)中的信噪比方差與第二預(yù)設(shè)閾值的大小，將信噪比方差小于第二預(yù)設(shè)閾值的檢測(cè)光源對(duì)應(yīng)的光強(qiáng)信息作為目標(biāo)光強(qiáng)配置信息，其余過(guò)程與前述基本相同，從而有效減小了系統(tǒng)早上對(duì)檢測(cè)結(jié)果的影響，提高了檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性。

[0090]

在一些實(shí)施例中，所述系統(tǒng)噪聲包括光噪聲和電噪聲。

[0091]

在一些實(shí)施例中，所述信噪比方差滿足如下公式：

[0092][0093]

其中，pr為所述檢測(cè)光源中的紅光光強(qiáng)，pg為所述檢測(cè)光源中的綠光光強(qiáng)，pb為所述檢測(cè)光源中的藍(lán)光光強(qiáng)，η

nr

為紅光的噪聲系數(shù)，η

ng

為綠光的噪聲系數(shù)，η

nb

為藍(lán)光的噪聲系數(shù)，b為第二預(yù)設(shè)閾值，i和n均為正整數(shù)，0＜i≤n。

[0094]

在一些實(shí)施例中，參考圖3，所述光學(xué)系統(tǒng)包括：

[0095]

發(fā)光組件31，用于提供光源；

[0096]

反射組件32，用于將所述光源反射至目標(biāo)區(qū)域并接收從所述目標(biāo)區(qū)域反射回來(lái)的反射光；

[0097]

接收器33，用于接收所述反射光并對(duì)所述反射光進(jìn)行檢測(cè)。

[0098]

其中，參考圖4，所述發(fā)光組件33包括若干個(gè)單色光源、第一分光棱鏡和聚焦透鏡，

所述單色光源產(chǎn)生的光線經(jīng)過(guò)所述第一分光棱鏡后傳輸?shù)剿鼍劢雇哥R后聚焦，并通過(guò)所述聚焦透鏡將聚焦后的光線傳輸?shù)剿龇瓷浣M件。

[0099]

具體的，所述發(fā)光組件31包括三個(gè)單色光源，分別為紅色光源311、綠色光源312和藍(lán)色光源313，紅色光源311、綠色光源312和藍(lán)色光源313產(chǎn)生的光線通過(guò)第一分光棱鏡314反射后到達(dá)聚焦透鏡315，從而產(chǎn)生匯聚在一起的檢測(cè)光線。而反射組件32將檢測(cè)光線傳輸?shù)酱郎y(cè)目標(biāo)表面之后，通過(guò)待測(cè)目標(biāo)的反射的作用，反射組件32再次將反射光傳輸?shù)浇邮掌?3，從而通過(guò)接收器33完成檢測(cè)過(guò)程。

[0100]

在一些實(shí)施例中，采用在接收端處理檢測(cè)結(jié)果的方法，參考圖5，所述接收器33包括若干個(gè)接收組件331，所述接收組件331的數(shù)量與所述單色光源的數(shù)量相同，所述接收組件331包括第二分光棱鏡3311、濾光片3312和彩色相機(jī)3313，所述第二分光棱鏡3311用于將所述反射光反射到所述濾光片3312，所述濾光片3312用于對(duì)所述反射光進(jìn)行濾光處理，所述彩色相機(jī)3313用于對(duì)濾光處理后的所述反射光進(jìn)行處理以得到最終的檢測(cè)結(jié)果。

[0101]

本發(fā)明還公開(kāi)了一種半導(dǎo)體光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)，參考圖6，包括：

[0102]

區(qū)域劃分模塊601，用于采用光學(xué)系統(tǒng)對(duì)待測(cè)樣本進(jìn)行拍攝以得到初始圖片，根據(jù)所述初始圖片中不同區(qū)域的信號(hào)強(qiáng)度的大小將所述待測(cè)樣本劃分為若干個(gè)信號(hào)區(qū)域；

[0103]

信息獲取模塊602，用于獲取每一個(gè)所述信號(hào)區(qū)域的反射率信息和所述光學(xué)系統(tǒng)中每一種顏色光的系統(tǒng)光學(xué)效率信息；

[0104]

強(qiáng)度計(jì)算模塊603，用于調(diào)整所述光學(xué)系統(tǒng)中的檢測(cè)光源不同配置的光強(qiáng)，并根據(jù)所述反射率信息和所述系統(tǒng)光學(xué)效率信息計(jì)算得到不同光強(qiáng)的所述光學(xué)系統(tǒng)在所述信號(hào)區(qū)域中的信號(hào)強(qiáng)度；

[0105]

目標(biāo)獲取模塊604，用于計(jì)算所述信號(hào)區(qū)域中的信號(hào)強(qiáng)度與預(yù)設(shè)檢測(cè)強(qiáng)度之間的方差，在所述方差小于第一預(yù)設(shè)閾值時(shí)將所述檢測(cè)光源對(duì)應(yīng)的光強(qiáng)信息作為目標(biāo)光強(qiáng)配置信息；

[0106]

檢測(cè)模塊605，用于按照所述目標(biāo)光強(qiáng)配置信息對(duì)所述檢測(cè)光源進(jìn)行配置后，通過(guò)所述光學(xué)系統(tǒng)對(duì)待測(cè)目標(biāo)進(jìn)行拍攝以獲取檢測(cè)結(jié)果。

[0107]

由于上述的半導(dǎo)體光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)中模塊的原理、工作過(guò)程與前述中的半導(dǎo)體光學(xué)檢測(cè)方法中的過(guò)程一一對(duì)應(yīng)，此處不再贅述。

[0108]

雖然在上文中詳細(xì)說(shuō)明了本發(fā)明的實(shí)施方式，但是對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)顯而易見(jiàn)的是，能夠?qū)@些實(shí)施方式進(jìn)行各種修改和變化。但是，應(yīng)理解，這種修改和變化都屬于權(quán)利要求書中所述的本發(fā)明的范圍和精神之內(nèi)。而且，在此說(shuō)明的本發(fā)明可有其它的實(shí)施方式，并且可通過(guò)多種方式實(shí)施或?qū)崿F(xiàn)。技術(shù)特征：

1.一種半導(dǎo)體光學(xué)檢測(cè)方法，其特征在于，包括：采用光學(xué)系統(tǒng)對(duì)待測(cè)樣本進(jìn)行拍攝以得到初始圖片，根據(jù)所述初始圖片中不同區(qū)域的信號(hào)強(qiáng)度的大小將所述待測(cè)樣本劃分為若干個(gè)信號(hào)區(qū)域；獲取每一個(gè)所述信號(hào)區(qū)域的反射率信息和所述光學(xué)系統(tǒng)中每一種顏色光的系統(tǒng)光學(xué)效率信息；調(diào)整所述光學(xué)系統(tǒng)中的檢測(cè)光源的不同配置的光強(qiáng)，并根據(jù)所述反射率信息和所述系統(tǒng)光學(xué)效率信息計(jì)算得到不同光強(qiáng)的所述光學(xué)系統(tǒng)在所述信號(hào)區(qū)域中的信號(hào)強(qiáng)度；計(jì)算所述信號(hào)區(qū)域中的信號(hào)強(qiáng)度與預(yù)設(shè)檢測(cè)強(qiáng)度之間的方差，在所述方差小于第一預(yù)設(shè)閾值時(shí)將所述檢測(cè)光源對(duì)應(yīng)的光強(qiáng)信息作為目標(biāo)光強(qiáng)配置信息；按照所述目標(biāo)光強(qiáng)配置信息對(duì)所述檢測(cè)光源進(jìn)行配置后，通過(guò)所述光學(xué)系統(tǒng)對(duì)待測(cè)目標(biāo)進(jìn)行拍攝以獲取檢測(cè)結(jié)果。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體光學(xué)檢測(cè)方法，其特征在于，所述根據(jù)所述初始圖片中不同區(qū)域的信號(hào)強(qiáng)度的大小將所述待測(cè)樣本劃分為若干個(gè)信號(hào)區(qū)域，包括：在確定所述初始圖片的區(qū)域中沒(méi)有出現(xiàn)光信號(hào)飽和之后，獲取所述初始圖片中不同區(qū)域的信號(hào)強(qiáng)度，根據(jù)所述初始圖片不同區(qū)域信號(hào)強(qiáng)度的不同，將所述初始圖片在所述待測(cè)樣本上對(duì)應(yīng)的區(qū)域劃分為若干個(gè)信號(hào)區(qū)域。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體光學(xué)檢測(cè)方法，其特征在于，所述根據(jù)所述初始圖片中不同區(qū)域的信號(hào)強(qiáng)度的大小將所述待測(cè)樣本劃分為若干個(gè)信號(hào)區(qū)域，包括：在確定所述初始圖片的區(qū)域中出現(xiàn)至少一種顏色的光信號(hào)飽和后，在所述光學(xué)系統(tǒng)中調(diào)整出現(xiàn)飽和的光信號(hào)，并用所述光學(xué)系統(tǒng)再次拍攝所述待測(cè)樣本以得到新的初始圖片，直至新的所述初始圖片中沒(méi)有區(qū)域出現(xiàn)光信號(hào)飽和；獲取所述初始圖片中不同區(qū)域的信號(hào)強(qiáng)度，根據(jù)所述初始圖片不同區(qū)域信號(hào)強(qiáng)度的不同，將所述初始圖片在所述待測(cè)樣本上對(duì)應(yīng)的區(qū)域劃分為若干個(gè)信號(hào)區(qū)域。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體光學(xué)檢測(cè)方法，其特征在于，所述檢測(cè)光源包括紅光、綠光和藍(lán)光三種光源。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體光學(xué)檢測(cè)方法，其特征在于，第i個(gè)所述信號(hào)區(qū)域中的信號(hào)強(qiáng)度d

i

滿足如下公式：d

i

＝ρ

ir

×

p

r

η

r

+ρ

ig

×

p

g

η

g

+ρ

ib

×

p

b

η

b

其中，所述信號(hào)區(qū)域的數(shù)量為n個(gè)，ρ

ir

為第i個(gè)所述信號(hào)區(qū)域中的紅光反射率，ρ

ig

為第i個(gè)所述信號(hào)區(qū)域中的綠光反射率，ρ

ib

為第i個(gè)所述信號(hào)區(qū)域中的藍(lán)光反射率，p

r

為所述檢測(cè)光源中的紅光光強(qiáng)，η

r

為所述光學(xué)系統(tǒng)對(duì)紅光的光學(xué)效率，p

g

為所述檢測(cè)光源中的綠光光強(qiáng)，η

g

為所述光學(xué)系統(tǒng)對(duì)綠光的光學(xué)效率，p

b

為所述檢測(cè)光源中的藍(lán)光光強(qiáng)，η

b

為所述光學(xué)系統(tǒng)對(duì)藍(lán)光的光學(xué)效率，i和n均為正整數(shù)，0＜i≤n。6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體光學(xué)檢測(cè)方法，其特征在于，在調(diào)整所述光學(xué)系統(tǒng)中的檢測(cè)光源的不同配置的光強(qiáng)，并根據(jù)所述反射率信息和所述系統(tǒng)光學(xué)效率信息計(jì)算得到不同光強(qiáng)的所述光學(xué)系統(tǒng)在所述信號(hào)區(qū)域中的信號(hào)強(qiáng)度后，所述方法還包括：獲取所述檢測(cè)光源中不同顏色光的噪聲系數(shù)；根據(jù)所述噪聲系數(shù)與所述方差計(jì)算所述檢測(cè)光源中光信號(hào)的信噪比方差；在所述信噪比方差小于第二預(yù)設(shè)閾值時(shí)將所述檢測(cè)光源對(duì)應(yīng)的光強(qiáng)信息作為目標(biāo)光

強(qiáng)配置信息；按照所述目標(biāo)光強(qiáng)配置信息對(duì)所述檢測(cè)光源進(jìn)行配置后，通過(guò)所述光學(xué)系統(tǒng)對(duì)待測(cè)目標(biāo)進(jìn)行拍攝以獲取檢測(cè)結(jié)果。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體光學(xué)檢測(cè)方法，其特征在于，所述信噪比方差滿足如下公式：其中，p

r

為所述檢測(cè)光源中的紅光光強(qiáng)，p

g

為所述檢測(cè)光源中的綠光光強(qiáng)，p

b

為所述檢測(cè)光源中的藍(lán)光光強(qiáng)，η

nr

為紅光的噪聲系數(shù)，η

ng

為綠光的噪聲系數(shù)，η

nb

為藍(lán)光的噪聲系數(shù)，b為第二預(yù)設(shè)閾值，i和n均為正整數(shù)，0＜i≤n。8.根據(jù)權(quán)利要求1至7任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體光學(xué)檢測(cè)方法，其特征在于，所述光學(xué)系統(tǒng)包括：發(fā)光組件，用于提供光源；反射組件，用于將所述光源反射至目標(biāo)區(qū)域并接收從所述目標(biāo)區(qū)域反射回來(lái)的反射光；接收器，用于接收所述反射光并對(duì)所述反射光進(jìn)行檢測(cè)；其中，所述發(fā)光組件包括若干個(gè)單色光源、第一分光棱鏡和聚焦透鏡，所述單色光源產(chǎn)生的光線經(jīng)過(guò)所述第一分光棱鏡后傳輸?shù)剿鼍劢雇哥R后聚焦，并通過(guò)所述聚焦透鏡將聚焦后的光線傳輸?shù)剿龇瓷浣M件。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體光學(xué)檢測(cè)方法，其特征在于，所述接收器包括若干個(gè)接收組件，所述接收組件的數(shù)量與所述單色光源的數(shù)量相同，所述接收組件包括第二分光棱鏡、濾光片和彩色相機(jī)，所述第二分光棱鏡用于將所述反射光反射到所述濾光片，所述濾光片用于對(duì)所述反射光進(jìn)行濾光處理，所述彩色相機(jī)用于對(duì)濾光處理后的所述反射光進(jìn)行處理以得到最終的檢測(cè)結(jié)果。10.一種半導(dǎo)體光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，包括：區(qū)域劃分模塊，用于采用光學(xué)系統(tǒng)對(duì)待測(cè)樣本進(jìn)行拍攝以得到初始圖片，根據(jù)所述初始圖片中不同區(qū)域的信號(hào)強(qiáng)度的大小將所述待測(cè)樣本劃分為若干個(gè)信號(hào)區(qū)域；信息獲取模塊，用于獲取每一個(gè)所述信號(hào)區(qū)域的反射率信息和所述光學(xué)系統(tǒng)中每一種顏色光的系統(tǒng)光學(xué)效率信息；強(qiáng)度計(jì)算模塊，用于調(diào)整所述光學(xué)系統(tǒng)中的檢測(cè)光源不同配置的光強(qiáng)，并根據(jù)所述反射率信息和所述系統(tǒng)光學(xué)效率信息計(jì)算得到不同光強(qiáng)的所述光學(xué)系統(tǒng)在所述信號(hào)區(qū)域中的信號(hào)強(qiáng)度；目標(biāo)獲取模塊，用于計(jì)算所述信號(hào)區(qū)域中的信號(hào)強(qiáng)度與預(yù)設(shè)檢測(cè)強(qiáng)度之間的方差，在所述方差小于第一預(yù)設(shè)閾值時(shí)將所述檢測(cè)光源對(duì)應(yīng)的光強(qiáng)信息作為目標(biāo)光強(qiáng)配置信息；檢測(cè)模塊，用于按照所述目標(biāo)光強(qiáng)配置信息對(duì)所述檢測(cè)光源進(jìn)行配置后，通過(guò)所述光學(xué)系統(tǒng)對(duì)待測(cè)目標(biāo)進(jìn)行拍攝以獲取檢測(cè)結(jié)果。

技術(shù)總結(jié)

本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體光學(xué)檢測(cè)方法及系統(tǒng)，半導(dǎo)體光學(xué)檢測(cè)方法包括采用光學(xué)系統(tǒng)對(duì)待測(cè)樣本進(jìn)行拍攝以得到初始圖片，根據(jù)初始圖片中不同區(qū)域的信號(hào)強(qiáng)度的大小將待測(cè)樣本劃分為若干個(gè)信號(hào)區(qū)域；獲取反射率信息和系統(tǒng)光學(xué)效率信息；調(diào)整所述光學(xué)系統(tǒng)中的檢測(cè)光源不同配置的光強(qiáng)，并根據(jù)反射率信息和系統(tǒng)光學(xué)效率信息計(jì)算得到不同光強(qiáng)的光學(xué)系統(tǒng)在信號(hào)區(qū)域中的信號(hào)強(qiáng)度；計(jì)算信號(hào)區(qū)域中的信號(hào)強(qiáng)度與預(yù)設(shè)檢測(cè)強(qiáng)度之間的方差，以獲取目標(biāo)光強(qiáng)配置信息；按照目標(biāo)光強(qiáng)配置信息對(duì)檢測(cè)光源進(jìn)行配置后，通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)對(duì)待測(cè)目標(biāo)進(jìn)行拍攝以獲取檢測(cè)結(jié)果。本發(fā)明能夠?qū)哂胁煌瓷渎实哪繕?biāo)進(jìn)行表面快速檢測(cè)，大幅度提高了檢測(cè)效率。大幅度提高了檢測(cè)效率。大幅度提高了檢測(cè)效率。

技術(shù)研發(fā)人員：孔寒夫 蘭艷平

受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海御微半導(dǎo)體技術(shù)有限公司

技術(shù)研發(fā)日：2022.03.24

技術(shù)公布日：2022/7/29