權(quán)利要求書： 1.一種擴散爐的尾氣處理裝置，包括擴散爐本體(1)，其特征在于，所述擴散爐本體(1)一側(cè)安裝有尾氣管(2)，尾氣管(2)另一端安裝在輸送管(3)上，所述輸送管(3)一側(cè)安裝有風機(4)，風機(4)另一端安裝有壓縮機(5)，壓縮機(5)另一端安裝有尾氣儲存罐(6)，尾氣儲存罐(6)另一側(cè)安裝有活性炭吸附組件(7)，所述活性炭吸附組件(7)用于處理尾氣，活性炭吸附組件(7)一側(cè)安裝有排氣管(8)，所述輸送管(3)一端滑動連接有第一擋板(13)，輸送管(3)一側(cè)安裝有電動推桿(11)，所述電動推桿(11)用于移動第一擋板(13)，輸送管(3)一側(cè)內(nèi)壁滑動連接有第二擋板(14)，第一擋板(13)一側(cè)固定連接有第一齒條(17)，第二擋板(14)一側(cè)固定連接有第二齒條(21)，輸送管(3)內(nèi)轉(zhuǎn)動連接有齒輪(19)，所述第一齒條(17)、第二齒條(21)均與齒輪(19)嚙合。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種擴散爐的尾氣處理裝置，其特征在于，所述電動推桿(11)輸出端安裝有連接板(12)，連接板(12)一側(cè)固定連接在第一擋板(13)上，第一擋板(13)一側(cè)固定連接有第一連接桿(16)，第一齒條(17)一端固定連接在第一連接桿(16)上，第二擋板(14)一側(cè)固定連接有第二連接桿(20)，第二齒條(21)一端固定連接在第二連接桿(20)上。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種擴散爐的尾氣處理裝置，其特征在于，所述第二擋板(14)一側(cè)固定連接有兩個第二滑塊(23)，輸送管(3)一側(cè)內(nèi)壁開設(shè)有兩個第三滑槽(27)，第三滑槽(27)橫截面呈T型，兩個第二滑塊(23)分別滑動在對應(yīng)的第三滑槽(27)內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種擴散爐的尾氣處理裝置，其特征在于，所述第二齒條(21)一側(cè)兩端均固定連接有第一滑塊(22)，輸送管(3)一側(cè)內(nèi)壁開設(shè)有第四滑槽(28)，第四滑槽(28)橫截面呈T型，兩個第一滑塊(22)均滑動在第四滑槽(28)內(nèi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種擴散爐的尾氣處理裝置，其特征在于，所述輸送管(3)一側(cè)開設(shè)有第一滑槽(24)，第一擋板(13)滑動在第一滑槽(24)內(nèi)，輸送管(3)一側(cè)內(nèi)壁開設(shè)有第二矩形槽(29)，所述第二矩形槽(29)與第一滑槽(24)相連通，第一擋板(13)兩側(cè)均固定連接有第一凸塊(15)，兩個第一凸塊(15)均與第二矩形槽(29)相適配。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種擴散爐的尾氣處理裝置，其特征在于，所述輸送管(3)一側(cè)開設(shè)有第二滑槽(25)，第一齒條(17)滑動在第二滑槽(25)內(nèi)，輸送管(3)一側(cè)開設(shè)有第一矩形槽(26)，所述第一矩形槽(26)與第二滑槽(25)相適配，第一齒條(17)一端固定連接有第二凸塊(18)，第二凸塊(18)與第一矩形槽(26)相適配。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種擴散爐的尾氣處理裝置，其特征在于，所述風機(4)兩側(cè)均安裝有過濾網(wǎng)(9)，輸送管(3)一側(cè)開設(shè)有進氣孔(10)，所述尾氣管(2)一端安裝在進氣孔(10)內(nèi)。

說明書： 一種擴散爐的尾氣處理裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本實用新型屬于擴散爐的尾氣處理技術(shù)領(lǐng)域，具體地說，涉及一種擴散爐的尾氣處理裝置。背景技術(shù)[0002] 擴散爐是半導(dǎo)體生產(chǎn)線前工序的重要工藝設(shè)備之一，用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導(dǎo)纖維等行業(yè)的擴散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝，隨著石油、天然氣、煤炭等不可再生能源的日益減少，人類面臨著越來越嚴重的能源危機，從而促進了世界各國對風能、潮汐能和太陽能等可再生能源的開發(fā)和利用，通常會在管式擴散爐上設(shè)置尾氣出口，尾氣出口通過尾氣輸出管道與尾氣處理裝置入口的排廢管相連，從而將擴散尾氣輸送至尾氣處理裝置，尾氣經(jīng)尾氣處理裝置處理后再進行排放。[0003] 但是經(jīng)本發(fā)明人探索發(fā)現(xiàn)該技術(shù)方案仍然存在至少以下缺陷：[0004] 大部分尾氣處理的方式是通過管道送入風機入口，通過風機在吸入空氣的同時，吸入尾氣進行處理，以去除尾氣中的有機成分，在尾氣吸入時會有部分尾氣溢出，降低尾氣處理效率。[0005] 有鑒于此特提出本實用新型。實用新型內(nèi)容

[0006] 有鑒于此，本實用新型的目的在于提出一種擴散爐的尾氣處理裝置，以解決通過風機在吸入空氣的同時，吸入尾氣進行處理，以去除尾氣中的有機成分，在尾氣吸入時會有部分尾氣溢出，降低尾氣處理效率的問題。[0007] 基于上述目的，本實用新型提供了一種擴散爐的尾氣處理裝置。[0008] 一種擴散爐的尾氣處理裝置，包括擴散爐本體，所述擴散爐本體一側(cè)安裝有尾氣管，尾氣管另一端安裝在輸送管上，所述輸送管一側(cè)安裝有風機，風機另一端安裝有壓縮機，壓縮機另一端安裝有尾氣儲存罐，尾氣儲存罐另一側(cè)安裝有活性炭吸附組件，所述活性炭吸附組件用于處理尾氣，活性炭吸附組件一側(cè)安裝有排氣管，所述輸送管一端滑動連接有第一擋板，輸送管一側(cè)安裝有電動推桿，所述電動推桿用于移動第一擋板，輸送管一側(cè)內(nèi)壁滑動連接有第二擋板，第一擋板一側(cè)固定連接有第一齒條，第二擋板一側(cè)固定連接有第二齒條，輸送管內(nèi)轉(zhuǎn)動連接有齒輪，所述第一齒條、第二齒條均與齒輪嚙合。[0009] 作為本實用新型的一種優(yōu)選實施方式，所述電動推桿輸出端安裝有連接板，連接板一側(cè)固定連接在第一擋板上，第一擋板一側(cè)固定連接有第一連接桿，第一齒條一端固定連接在第一連接桿上，第二擋板一側(cè)固定連接有第二連接桿，第二齒條一端固定連接在第二連接桿上。[0010] 作為本實用新型的一種優(yōu)選實施方式，所述第二擋板一側(cè)固定連接有兩個第二滑塊，輸送管一側(cè)內(nèi)壁開設(shè)有兩個第三滑槽，第三滑槽橫截面呈T型，兩個第二滑塊分別滑動在對應(yīng)的第三滑槽內(nèi)。[0011] 作為本實用新型的一種優(yōu)選實施方式，所述第二齒條一側(cè)兩端均固定連接有第一滑塊，輸送管一側(cè)內(nèi)壁開設(shè)有第四滑槽，第四滑槽橫截面呈T型，兩個第一滑塊均滑動在第四滑槽內(nèi)。[0012] 作為本實用新型的一種優(yōu)選實施方式，所述輸送管一側(cè)開設(shè)有第一滑槽，第一擋板滑動在第一滑槽內(nèi)，輸送管一側(cè)內(nèi)壁開設(shè)有第二矩形槽，所述第二矩形槽與第一滑槽相連通，第一擋板兩側(cè)均固定連接有第一凸塊，兩個第一凸塊均與第二矩形槽相適配。[0013] 作為本實用新型的一種優(yōu)選實施方式，所述輸送管一側(cè)開設(shè)有第二滑槽，第一齒條滑動在第二滑槽內(nèi)，輸送管一側(cè)開設(shè)有第一矩形槽，所述第一矩形槽與第二滑槽相適配，第一齒條一端固定連接有第二凸塊，第二凸塊與第一矩形槽相適配。[0014] 作為本實用新型的一種優(yōu)選實施方式，所述風機兩側(cè)均安裝有過濾網(wǎng)，輸送管一側(cè)開設(shè)有進氣孔，所述尾氣管一端安裝在進氣孔內(nèi)。[0015] 本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下有益效果：[0016] 本實用新型，啟動電動推桿，第一擋板下移使得輸送管一端連通空氣，第一擋板下移帶動第一齒條下移，第一齒條帶動齒輪轉(zhuǎn)動，第二齒條跟著移動，使得第二擋板移動，打開進氣孔，風機轉(zhuǎn)動將尾氣吸入壓縮機，進一步處理尾氣，通過在風機入口安裝輸送管，優(yōu)先吸入尾氣，提高尾氣吸附效果，避免尾氣吸入過程中溢出，提高尾氣處理效率。[0017] 本實用新型，尾氣處理完畢，關(guān)閉風機，電動推桿帶動第一擋板堵住輸送管通風口，第二擋板跟著移動堵住進氣孔，這樣操作，可以避免輸送管內(nèi)沒有完全吸入的尾氣溢出輸送管，防止污染環(huán)境。[0018] 下面結(jié)合附圖對本實用新型的具體實施方式作進一步詳細的描述。附圖說明[0019] 在附圖中：[0020] 圖1為本實用新型提出的一種擴散爐的尾氣處理裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖；[0021] 圖2為本實用新型提出的一種擴散爐的尾氣處理裝置的風機立體結(jié)構(gòu)示意圖；[0022] 圖3為本實用新型提出的一種擴散爐的尾氣處理裝置的第一擋板立體結(jié)構(gòu)示意圖；[0023] 圖4為本實用新型提出的一種擴散爐的尾氣處理裝置的第一滑槽立體結(jié)構(gòu)示意圖；[0024] 圖5為本實用新型提出的一種擴散爐的尾氣處理裝置的第三滑槽剖面結(jié)構(gòu)示意圖；[0025] 圖6為本實用新型提出的一種擴散爐的尾氣處理裝置的第四滑槽剖面結(jié)構(gòu)示意圖。[0026] 圖中：1、擴散爐本體；2、尾氣管；3、輸送管；4、風機；5、壓縮機；6、尾氣儲存罐；7、活性炭吸附組件；8、排氣管；9、過濾網(wǎng)；10、進氣孔；11、電動推桿；12、連接板；13、第一擋板；14、第二擋板；15、第一凸塊；16、第一連接桿；17、第一齒條；18、第二凸塊；19、齒輪；20、第二連接桿；21、第二齒條；22、第一滑塊；23、第二滑塊；24、第一滑槽；25、第二滑槽；26、第一矩形槽；27、第三滑槽；28、第四滑槽；29、第二矩形槽。

具體實施方式[0027] 為使本實用新型實施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，以下實施例用于說明本實用新型。[0028] 如圖1至圖6所示，一種擴散爐的尾氣處理裝置，包括擴散爐本體1，擴散爐本體1一側(cè)安裝有尾氣管2，尾氣管2另一端安裝在輸送管3上，輸送管3一側(cè)安裝有風機4，風機4另一端安裝有壓縮機5，壓縮機5另一端安裝有尾氣儲存罐6，尾氣儲存罐6另一側(cè)安裝有活性炭吸附組件7，活性炭吸附組件7用于處理尾氣，活性炭吸附組件7一側(cè)安裝有排氣管8，輸送管3一端滑動連接有第一擋板13，輸送管3一側(cè)安裝有電動推桿11，電動推桿11用于移動第一擋板13，輸送管3一側(cè)內(nèi)壁滑動連接有第二擋板14，第一擋板13一側(cè)固定連接有第一齒條

17，第二擋板14一側(cè)固定連接有第二齒條21，輸送管3內(nèi)轉(zhuǎn)動連接有齒輪19，第一齒條17、第二齒條21均與齒輪19嚙合。

[0029] 電動推桿11輸出端安裝有連接板12，連接板12一側(cè)固定連接在第一擋板13上，便于移動第一擋板13，第一擋板13一側(cè)固定連接有第一連接桿16，第一齒條17一端固定連接在第一連接桿16上，第二擋板14一側(cè)固定連接有第二連接桿20，第二齒條21一端固定連接在第二連接桿20上。[0030] 第二擋板14一側(cè)固定連接有兩個第二滑塊23，輸送管3一側(cè)內(nèi)壁開設(shè)有兩個第三滑槽27，第三滑槽27橫截面呈T型，兩個第二滑塊23分別滑動在對應(yīng)的第三滑槽27內(nèi)，使得第二擋板14穩(wěn)定移動。[0031] 第二齒條21一側(cè)兩端均固定連接有第一滑塊22，輸送管3一側(cè)內(nèi)壁開設(shè)有第四滑槽28，第四滑槽28橫截面呈T型，兩個第一滑塊22均滑動在第四滑槽28內(nèi)，使得第二齒條21穩(wěn)定移動。[0032] 輸送管3一側(cè)開設(shè)有第一滑槽24，第一擋板13滑動在第一滑槽24內(nèi)，輸送管3一側(cè)內(nèi)壁開設(shè)有第二矩形槽29，第二矩形槽29與第一滑槽24相連通，第一擋板13兩側(cè)均固定連接有第一凸塊15，避免尾氣從第一滑槽24溢出，兩個第一凸塊15均與第二矩形槽29相適配。[0033] 輸送管3一側(cè)開設(shè)有第二滑槽25，第一齒條17滑動在第二滑槽25內(nèi)，輸送管3一側(cè)開設(shè)有第一矩形槽26，第一矩形槽26與第二滑槽25相適配，第一齒條17一端固定連接有第二凸塊18，第二凸塊18與第一矩形槽26相適配，避免尾氣從第二滑槽25內(nèi)溢出。[0034] 風機4兩側(cè)均安裝有過濾網(wǎng)9，防止灰塵進入風機4內(nèi)，輸送管3一側(cè)開設(shè)有進氣孔10，尾氣管2一端安裝在進氣孔10內(nèi)。

[0035] 本實施例的一種擴散爐的尾氣處理裝置的實施原理如下：[0036] 使用時，啟動風機4，風機4吸入輸送管3內(nèi)的尾氣，啟動電動推桿11，連接板12下移帶動第一擋板13下移，下移停止，兩個第一凸塊15插入第二矩形槽29內(nèi)，第一擋板13下移帶動第一齒條17下移，第一齒條17帶動齒輪19轉(zhuǎn)動，第二齒條21跟著移動，使得第二擋板14移動打開進氣孔10，擴散爐本體1內(nèi)的尾氣從尾氣管2進入輸送管3內(nèi)，風機4將尾氣送入壓縮機5，壓縮機5將尾氣處理后存入尾氣儲存罐6內(nèi)，活性炭吸附組件7處理尾氣儲存罐6內(nèi)的尾氣，尾氣處理完畢通過排氣管8排出，尾氣排放完，關(guān)閉風機4，電動推桿11帶動第一擋板13上移堵住輸送管3，第二擋板14跟著移動擋住進氣孔10。