權(quán)利要求書(shū): 1.一種轉(zhuǎn)盤(pán)式
芯片分選機(jī)整機(jī)機(jī)構(gòu),其特征在于,包括大板以及安裝在所述大板一側(cè)的鐵片夾取機(jī)構(gòu)、四六寸共用料匣、Wafer料匣、轉(zhuǎn)盤(pán)機(jī)構(gòu)和X、Y模組機(jī)構(gòu),所述轉(zhuǎn)盤(pán)機(jī)構(gòu)用于分類(lèi)后的存放晶圓芯片,所述Wafer料匣用于存放分類(lèi)前的晶圓芯片,
所述四六寸共用料匣用于實(shí)現(xiàn)不同尺寸晶圓芯片的分類(lèi)存放,
所述鐵片夾取機(jī)構(gòu)安裝在所述X、Y模組機(jī)構(gòu)的輸出端,用于對(duì)晶圓芯片進(jìn)行夾持,所述X、Y模組機(jī)構(gòu)用于帶動(dòng)所述鐵片夾取機(jī)構(gòu)移動(dòng),實(shí)現(xiàn)晶圓芯片的轉(zhuǎn)移。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種轉(zhuǎn)盤(pán)式芯片分選機(jī)整機(jī)機(jī)構(gòu),其特征在于,所述大板一側(cè)還設(shè)置有頂晶機(jī)構(gòu)以及擺臂機(jī)構(gòu),所述頂晶機(jī)構(gòu)用于將分選的晶圓芯片頂出至擺臂機(jī)構(gòu)的吸嘴上,實(shí)現(xiàn)晶圓芯片的吸附并由所述擺臂機(jī)構(gòu)帶動(dòng)晶圓芯片擺動(dòng)至轉(zhuǎn)盤(pán)機(jī)構(gòu)的分類(lèi)料盒中。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種轉(zhuǎn)盤(pán)式芯片分選機(jī)整機(jī)機(jī)構(gòu),其特征在于,所述大板一側(cè)還設(shè)置有吸嘴清潔機(jī)構(gòu),所述吸嘴清潔機(jī)構(gòu)用于對(duì)所述擺臂機(jī)構(gòu)的吸嘴進(jìn)行清潔。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種轉(zhuǎn)盤(pán)式芯片分選機(jī)整機(jī)機(jī)構(gòu),其特征在于,所述大板一側(cè)還設(shè)置有子母環(huán)夾具機(jī)構(gòu),所述子母環(huán)夾具機(jī)構(gòu)用于對(duì)夾取所述晶圓芯片。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種轉(zhuǎn)盤(pán)式芯片分選機(jī)整機(jī)機(jī)構(gòu),其特征在于,所述大板一側(cè)還設(shè)置有CCD相機(jī)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu),所述CCD相機(jī)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)用于檢測(cè)晶圓芯片外觀形狀。
說(shuō)明書(shū): 一種轉(zhuǎn)盤(pán)式芯片分選機(jī)整機(jī)機(jī)構(gòu)技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本實(shí)用新型屬于芯片分選機(jī)技術(shù)領(lǐng)域,具體是一種轉(zhuǎn)盤(pán)式芯片分選機(jī)整機(jī)機(jī)構(gòu)。背景技術(shù)[0002] 目前,芯片分選機(jī)在進(jìn)行芯片分選時(shí),存在芯片分選效率低下以及分選效果差的缺陷,無(wú)法滿足芯片的分選需求,亟需改進(jìn)。實(shí)用新型內(nèi)容
[0003] 針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)的不足,本實(shí)用新型實(shí)施例要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種轉(zhuǎn)盤(pán)式芯片分選機(jī)整機(jī)機(jī)構(gòu)。[0004] 為解決上述技術(shù)問(wèn)題,本實(shí)用新型提供了如下技術(shù)方案:[0005] 一種轉(zhuǎn)盤(pán)式芯片分選機(jī)整機(jī)機(jī)構(gòu),包括大板以及安裝在所述大板一側(cè)的鐵片夾取機(jī)構(gòu)、四六寸共用料匣、Wafer料匣、轉(zhuǎn)盤(pán)機(jī)構(gòu)和X、Y模組機(jī)構(gòu),[0006] 所述轉(zhuǎn)盤(pán)機(jī)構(gòu)用于分類(lèi)后的存放晶圓芯片,[0007] 所述Wafer料匣用于存放分類(lèi)前的晶圓芯片,[0008] 所述四六寸共用料匣用于實(shí)現(xiàn)不同尺寸晶圓芯片的分類(lèi)存放,[0009] 所述鐵片夾取機(jī)構(gòu)安裝在所述X、Y模組機(jī)構(gòu)的輸出端,用于對(duì)晶圓芯片進(jìn)行夾持,[0010] 所述X、Y模組機(jī)構(gòu)用于帶動(dòng)所述鐵片夾取機(jī)構(gòu)移動(dòng),實(shí)現(xiàn)晶圓芯片的轉(zhuǎn)移。[0011] 作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的改進(jìn)方案:所述大板一側(cè)還設(shè)置有頂晶機(jī)構(gòu)以及擺臂機(jī)構(gòu),[0012] 所述頂晶機(jī)構(gòu)用于將分選的晶圓芯片頂出至擺臂機(jī)構(gòu)的吸嘴上,實(shí)現(xiàn)晶圓芯片的吸附并由所述擺臂機(jī)構(gòu)帶動(dòng)晶圓芯片擺動(dòng)。[0013] 作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的改進(jìn)方案:所述大板一側(cè)還設(shè)置有吸嘴清潔機(jī)構(gòu),所述吸嘴清潔機(jī)構(gòu)用于對(duì)所述擺臂機(jī)構(gòu)的吸嘴進(jìn)行清潔。[0014] 作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的改進(jìn)方案:所述大板一側(cè)還設(shè)置有子母環(huán)夾具機(jī)構(gòu),所述子母環(huán)夾具機(jī)構(gòu)用于對(duì)夾取所述晶圓芯片。[0015] 作為本實(shí)用新型再進(jìn)一步的改進(jìn)方案:所述大板一側(cè)還設(shè)置有CCD相機(jī)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu),所述CCD相機(jī)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)用于調(diào)節(jié)CCD相機(jī)位置。[0016] 與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的有益效果是:[0017] 本實(shí)用新型實(shí)施例中,通過(guò)鐵片夾取機(jī)構(gòu)對(duì)Wafer料匣內(nèi)存放的分類(lèi)前的晶圓芯片進(jìn)行夾取,并通過(guò)X、Y模組機(jī)構(gòu)帶動(dòng)鐵片夾取機(jī)構(gòu)移動(dòng),使得鐵片夾取機(jī)構(gòu)所夾取的晶圓芯片根據(jù)不同尺寸的晶圓芯片移動(dòng)至四六寸共用料匣內(nèi)部分類(lèi)存放,隨后通過(guò)鐵片夾取機(jī)構(gòu)將晶圓芯片夾取至轉(zhuǎn)盤(pán)機(jī)構(gòu)內(nèi)部進(jìn)行存放,相較于現(xiàn)有技術(shù),能夠?qū)崿F(xiàn)晶圓芯片的自動(dòng)化分選,具有分選效果好以及分選效率高的優(yōu)點(diǎn)。附圖說(shuō)明[0018] 圖1為一種轉(zhuǎn)盤(pán)式芯片分選機(jī)整機(jī)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖;[0019] 圖2為一種轉(zhuǎn)盤(pán)式芯片分選機(jī)整機(jī)機(jī)構(gòu)中X、Y模組機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖;[0020] 圖3為一種轉(zhuǎn)盤(pán)式芯片分選機(jī)整機(jī)機(jī)構(gòu)中頂晶機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖;[0021] 圖4為一種轉(zhuǎn)盤(pán)式芯片分選機(jī)整機(jī)機(jī)構(gòu)中吸嘴清潔機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖;[0022] 圖中:10?鐵片夾取機(jī)構(gòu)、20?四六寸共用料匣、30?Wafer料匣、40?轉(zhuǎn)盤(pán)機(jī)構(gòu)、50?頂晶機(jī)構(gòu)、60?擺臂機(jī)構(gòu)、70?X、Y模組機(jī)構(gòu)、80?吸嘴清潔機(jī)構(gòu)、90?子母環(huán)夾具機(jī)構(gòu)、100?CCD相機(jī)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、1000?大板。具體實(shí)施方式[0023] 下面結(jié)合具體實(shí)施方式對(duì)本專(zhuān)利的技術(shù)方案作進(jìn)一步詳細(xì)地說(shuō)明。[0024] 下面詳細(xì)描述本專(zhuān)利的實(shí)施例,所述實(shí)施例的示例在附圖中示出,其中自始至終相同或類(lèi)似的標(biāo)號(hào)表示相同或類(lèi)似的元件或具有相同或類(lèi)似功能的元件。下面通過(guò)參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的,僅用于解釋本專(zhuān)利,而不能理解為對(duì)本專(zhuān)利的限制。[0025] 請(qǐng)參閱圖1和圖3,本實(shí)施例提供了一種轉(zhuǎn)盤(pán)式芯片分選機(jī)整機(jī)機(jī)構(gòu),包括大板1000以及安裝在所述大板1000一側(cè)的鐵片夾取機(jī)構(gòu)10、四六寸共用料匣20、Wafer料匣30、轉(zhuǎn)盤(pán)機(jī)構(gòu)40和X、Y模組機(jī)構(gòu)70,所述轉(zhuǎn)盤(pán)機(jī)構(gòu)40用于分類(lèi)后的存放晶圓芯片,所述Wafer料匣30用于存放分類(lèi)前的晶圓芯片,所述四六寸共用料匣20用于實(shí)現(xiàn)不同尺寸晶圓芯片的分類(lèi)存放,所述鐵片夾取機(jī)構(gòu)10安裝在所述X、Y模組機(jī)構(gòu)70的輸出端,用于對(duì)晶圓芯片進(jìn)行夾持,所述X、Y模組機(jī)構(gòu)70用于帶動(dòng)所述鐵片夾取機(jī)構(gòu)10移動(dòng),實(shí)現(xiàn)晶圓芯片的轉(zhuǎn)移。
[0026] 通過(guò)鐵片夾取機(jī)構(gòu)10對(duì)Wafer料匣30內(nèi)存放的分類(lèi)前的晶圓芯片進(jìn)行夾取,并通過(guò)X、Y模組機(jī)構(gòu)70帶動(dòng)鐵片夾取機(jī)構(gòu)10移動(dòng),使得鐵片夾取機(jī)構(gòu)10所夾取的晶圓芯片根據(jù)不同尺寸的晶圓芯片移動(dòng)至四六寸共用料匣20內(nèi)部分類(lèi)存放,隨后通過(guò)鐵片夾取機(jī)構(gòu)10將晶圓芯片夾取至轉(zhuǎn)盤(pán)機(jī)構(gòu)40內(nèi)部進(jìn)行存放。[0027] 請(qǐng)參閱圖2,在一個(gè)實(shí)施例中,所述大板1000一側(cè)還設(shè)置有頂晶機(jī)構(gòu)50以及擺臂機(jī)構(gòu)60,所述頂晶機(jī)構(gòu)50用于將分選的晶圓芯片頂出至擺臂機(jī)構(gòu)60的吸嘴上,實(shí)現(xiàn)晶圓芯片的吸附并由所述擺臂機(jī)構(gòu)60帶動(dòng)晶圓芯片擺動(dòng),實(shí)現(xiàn)晶圓芯片擺動(dòng)至轉(zhuǎn)盤(pán)機(jī)構(gòu)的分類(lèi)料盒中。[0028] 請(qǐng)參閱圖4,在一個(gè)實(shí)施例中,所述大板1000一側(cè)還設(shè)置有吸嘴清潔機(jī)構(gòu)80,所述吸嘴清潔機(jī)構(gòu)80用于對(duì)所述擺臂機(jī)構(gòu)60的吸嘴進(jìn)行清潔,以防止吸嘴上粘附灰塵雜物,進(jìn)而提高晶圓芯片的吸附效果。[0029] 請(qǐng)參閱圖4,在一個(gè)實(shí)施例中,所述大板1000一側(cè)還設(shè)置有子母環(huán)夾具機(jī)構(gòu)90,所述子母環(huán)夾具機(jī)構(gòu)90用于對(duì)夾取所述晶圓芯片。[0030] 請(qǐng)參閱圖4,在一個(gè)實(shí)施例中,所述大板1000一側(cè)還設(shè)置有CCD相機(jī)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)100,所述CCD相機(jī)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)100用于檢測(cè)晶圓芯片外觀形狀,以實(shí)現(xiàn)晶圓芯片的多方位檢測(cè)。[0031] 本實(shí)用新型實(shí)施例中,通過(guò)鐵片夾取機(jī)構(gòu)10對(duì)Wafer料匣30內(nèi)存放的分類(lèi)前的晶圓芯片進(jìn)行夾取,并通過(guò)X、Y模組機(jī)構(gòu)70帶動(dòng)鐵片夾取機(jī)構(gòu)10移動(dòng),使得鐵片夾取機(jī)構(gòu)10所夾取的晶圓芯片根據(jù)不同尺寸的晶圓芯片移動(dòng)至四六寸共用料匣20內(nèi)部分類(lèi)存放,隨后通過(guò)鐵片夾取機(jī)構(gòu)10將晶圓芯片夾取至轉(zhuǎn)盤(pán)機(jī)構(gòu)40內(nèi)部進(jìn)行存放,相較于現(xiàn)有技術(shù),能夠?qū)崿F(xiàn)晶圓芯片的自動(dòng)化分選,具有分選效果好以及分選效率高的優(yōu)點(diǎn)。[0032] 上面對(duì)本專(zhuān)利的較佳實(shí)施方式作了詳細(xì)說(shuō)明,但是本專(zhuān)利并不限于上述實(shí)施方式,在本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員所具備的知識(shí)范圍內(nèi),還可以在不脫離本專(zhuān)利宗旨的前提下做出各種變化。
聲明:
“轉(zhuǎn)盤(pán)式芯片分選機(jī)整機(jī)機(jī)構(gòu)” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)