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廢水處理系統(tǒng)

817   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 01:04:54
一種新穎及改進(jìn)的廢水處理系統(tǒng),適用于處理CMP制程的廢水與BG廢水及/或BW廢水。一收集第一廢水的第一暫存槽,一收集第二廢水的第二暫存槽,一收集槽,一析出第一、第二廢水中粒子的反應(yīng)槽,以及至少一沉淀所述第一、第二廢水中粒子的沉降槽,其中,所述收集槽與所述第一、第二暫存槽和所述反應(yīng)槽做流體性連接,所述反應(yīng)槽與所述沉淀槽做流體性連接。一放流槽接收來(lái)自沉降槽凈化后的廢水,此凈化后的廢水可用輸送泵送至一儲(chǔ)存槽,例如一回收水(RCW)槽,用于例如廢氣洗滌裝置的清潔制程。
聲明:
“廢水處理系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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