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具有p-n結(jié)的ZnO納米復合結(jié)構(gòu)光催化薄膜的制備方法

637   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 02:37:38
本發(fā)明屬材料的表面物理化學領(lǐng)域,涉及一種具有光催化性能的ZnO納米復合結(jié)構(gòu)薄膜材料的制備方法。現(xiàn)有簡單的納米結(jié)構(gòu)薄膜材料光催化效率低、對尺度要求較苛刻。本發(fā)明其特征在于,包括以下步驟:用熱氣相沉積方法的常規(guī)工藝在基底上沉積一層ZnO薄膜,所通氧氣流量500~3000sccm,并控制ZnO結(jié)晶在100納米~2微米的尺度范圍;向沉積室中充入含氮氣體,控制含氮氣體流量在50~500sccm范圍,基底溫度在750℃~1000℃的范圍,生長時間控制在2~30分鐘。本發(fā)明制備的具有p-n結(jié)的ZnO納米復合結(jié)構(gòu)光催化薄膜進行了測試,紫外光照射60分鐘的光催化效率在78%以上。該納米結(jié)構(gòu)薄膜適用于對廢水和廢氣中的有害物質(zhì)的光催化處理。
聲明:
“具有p-n結(jié)的ZnO納米復合結(jié)構(gòu)光催化薄膜的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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