本發(fā)明公開(kāi)了一種金剛線切割硅片預(yù)處理設(shè)備,包括腔體、一組或多組等離子發(fā)生器、傳送系統(tǒng)以及廢氣排放系統(tǒng);所述的等離子發(fā)生器安裝在上腔體的上端面上并與腔體連通,所述的廢氣排放系統(tǒng)與腔體下端面相連并與腔體連通;所述傳送系統(tǒng)穿過(guò)腔體左右兩側(cè)的開(kāi)口并向兩側(cè)延伸;通過(guò)射頻電源激發(fā)銅線圈,產(chǎn)生電磁震蕩,刻蝕氣體通過(guò)氣管通入石英反應(yīng)腔,混合后被射頻電源激發(fā)為等離子體,當(dāng)硅片從下方經(jīng)過(guò)時(shí)對(duì)硅片表面進(jìn)行刻蝕,在硅片表面留下均勻細(xì)小的缺陷,這些缺陷在制絨槽內(nèi)背繼續(xù)腐蝕放大為絨面結(jié)構(gòu),使得后期制絨效果好,可以減少或者替代制絨添加劑,降低制絨成本和廢水處理成本,提高
電池片轉(zhuǎn)換效率。
聲明:
“金剛線切割硅片預(yù)處理設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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