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多晶硅生產(chǎn)中尾氣處理系統(tǒng)的氯硅烷回收系統(tǒng)

677   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 04:56:57
本實用新型公開了一種多晶硅生產(chǎn)中尾氣處理系統(tǒng)的氯硅烷回收系統(tǒng),屬于多晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域,包括硅粉除塵器和硅粉收集罐,硅粉除塵器底部通過管道I連接的硅粉收集罐,管道I上設有閥門I,硅粉收集罐頂部通過廢氣管連接廢氣淋洗系統(tǒng),廢氣管上安裝有閥門II,廢氣管上還連接有氣相返回管;另一端連接硅粉除塵器,氣相返回管上設有閥門III,硅粉收集罐上連接有H2進料管線和N2進料管線,H2進料管線上設有閥門IV,N2進料管線上設有閥門V,硅粉除塵器還連接尾氣回收系統(tǒng),解決多晶硅生產(chǎn)中還原過程中,經(jīng)過硅粉除塵器捕集后,向硅粉收集罐泄放過程中,氣相中夾帶硅粉較多,導致增加淋洗系統(tǒng)負荷,同時生成的固體物質(zhì)容易堵塞管道的問題。
聲明:
“多晶硅生產(chǎn)中尾氣處理系統(tǒng)的氯硅烷回收系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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