本實用新型公開了微蝕液循環(huán)再生系統(tǒng)。本實用新型包括調(diào)整失效微蝕液H2O2含量的調(diào)整系統(tǒng)、銅回收系統(tǒng)和自動添加系統(tǒng),調(diào)整系統(tǒng)設(shè)有與微蝕槽相連的管路,調(diào)整系統(tǒng)通過管路與銅回收系統(tǒng)相連接,銅回收系統(tǒng)通過管路與自動添加系統(tǒng)相連接,自動添加系統(tǒng)設(shè)有與微蝕槽相連的管路。整個系統(tǒng)是封閉循環(huán)運(yùn)行,無需外排廢液,不會對環(huán)境造成危害;只需要添加消耗的添加劑就能不斷的再生合格的微蝕液,保證了微蝕刻的穩(wěn)定性和一致性,有效地降低了微蝕刻的成本,保證了微蝕刻的質(zhì)量。與此同時,通過銅回收系統(tǒng)還能獲得高價值的副產(chǎn)品金屬銅,進(jìn)一步降低了處理成本。
聲明:
“微蝕液循環(huán)再生系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)