本發(fā)明提供一種監(jiān)視化學(xué)機(jī)械拋光處理的方法,包含以下步驟:自化學(xué)機(jī)械拋光處理接收實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)信號(hào),其中所述實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)信號(hào)與摩擦力、力矩、馬達(dá)電流有關(guān);將該數(shù)據(jù)信號(hào)轉(zhuǎn)換成一不同頻率的信號(hào)的功率頻譜,其中各頻率總和等于該原始數(shù)據(jù)信號(hào);識(shí)別并監(jiān)視該功率頻譜的對(duì)應(yīng)于所述化學(xué)機(jī)械拋光處理的信號(hào)成分;檢測(cè)該信號(hào)成分的振幅或頻率的變化;及改變所述化學(xué)機(jī)械拋光處理以響應(yīng)所檢測(cè)的變化。本發(fā)明也提供一種完成上述方法的裝置。
聲明:
“涉及基于頻率分析監(jiān)視的化學(xué)機(jī)械拋光處理” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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