提供了用于進(jìn)行電學(xué)、
電化學(xué)或形貌分析的傳感器和系統(tǒng),以及制造這些傳感器的方法。所述傳感器包括懸臂和一個(gè)或多個(gè)探針,每個(gè)探針的尖端具有一個(gè)電極。所述探針的尖端是尖銳的,曲率半徑約小于50納米。另外,所述探針具有約大于19∶1的高長(zhǎng)寬比。所述傳感器適用于原子力顯微鏡和掃描電化學(xué)顯微鏡。
聲明:
“用于電化學(xué)、電學(xué)或形貌分析的傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)