本發(fā)明是關(guān)于一種等離子體化學氣相沉積系統(tǒng)。該沉積系統(tǒng)包括等離子體沉積裝置,該等離子體沉積裝置包括等離子體炬和沉積室。該沉積系統(tǒng)還包括:尾氣循環(huán)裝置、新鮮氣體供給裝置和在線監(jiān)控裝置,該尾氣循環(huán)裝置一端連接于沉積室的排氣口,另一端連接于等離子體炬的進氣口;該新鮮氣體供給裝置,連接于等離子體炬的進氣口;該在線監(jiān)控裝置用于實時檢測氣體組分、溫度、沉積室壓力及沉積基體溫度。本發(fā)明還提出了一種等離子體化學氣相沉積方法。本發(fā)明方法將等離子體化學氣相沉積系統(tǒng)排放的氣體經(jīng)簡單處理后進行氣體循環(huán)使用,克服現(xiàn)有技術(shù)氣體消耗較大的問題,大大降低氣體成本,同時保證沉積系統(tǒng)的穩(wěn)定性。
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“等離子體化學氣相沉積系統(tǒng)及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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