本發(fā)明提供一種在金屬栓塞的化學(xué)機(jī)械研磨中的制程動態(tài)優(yōu)化方法及系統(tǒng),金屬栓塞形成于目標(biāo)材料層中,包括如下步驟:1)設(shè)定目標(biāo)去除厚度與研磨參數(shù)在閉回路控制系統(tǒng)中;2)利用研磨參數(shù),執(zhí)行第一化學(xué)機(jī)械研磨步驟,以降低目標(biāo)材料層的厚度達(dá)到在第一實(shí)際去除厚度的去除;3)測量第一化學(xué)機(jī)械研磨步驟中目標(biāo)材料層被去除的第一實(shí)際去除厚度;4)依據(jù)目標(biāo)去除厚度和第一實(shí)際去除厚度的差異,轉(zhuǎn)換厚度差異成對應(yīng)的研磨參數(shù)差值,以動態(tài)更新研磨參數(shù);5)利用更新后的研磨參數(shù),執(zhí)行第二化學(xué)機(jī)械研磨步驟,以降低目標(biāo)材料層的厚度達(dá)到在第二實(shí)際去除厚度的去除,藉此動態(tài)優(yōu)化研磨參數(shù)。本發(fā)明可以精確控制研磨過程中去除的目標(biāo)材料層的厚度。
聲明:
“在金屬栓塞的化學(xué)機(jī)械研磨中的制程動態(tài)優(yōu)化方法及系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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