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高頻基板在熱氧老化過程中的退化特性表征方法

1081   編輯：管理員   來源：中冶有色技術網(wǎng)  
2023-03-19 07:31:06
本發(fā)明公開了一種高頻基板在熱氧老化過程中的退化特性表征方法，包括以下步驟：對未經(jīng)熱氧老化處理的高頻基板樣品和經(jīng)不同程度熱氧老化處理的高頻基板樣品進行電性能參數(shù)測試、化學結構分析、熱分析及顯微組織分析，得到電性能參數(shù)信息、化學結構信息、熱力學特性信息及顯微結構信息；分析未經(jīng)熱氧老化處理、經(jīng)不同程度熱氧老化處理的高頻基板樣品的電性能參數(shù)、化學結構、熱力學特性、顯微結構的演變趨勢；建立未經(jīng)熱氧老化處理、經(jīng)不同程度熱氧老化處理的高頻基板樣品的電性能參數(shù)、化學結構、熱力學特性、顯微結構之間的關聯(lián)關系。本發(fā)明能夠全方位表征高頻基板在熱氧老化過程中的退化特性及演變規(guī)律，為產(chǎn)品設計提供全面參考。
聲明：
“高頻基板在熱氧老化過程中的退化特性表征方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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