本發(fā)明公開了一種光學(xué)用
鋁合金表面多維可控反應(yīng)能束復(fù)合拋光方法,其特征在于包括有以下步驟:(1)小磨頭數(shù)控研拋:采用鋁合金小磨頭數(shù)控研拋方法,制備獲得光學(xué)級鋁合金材料樣品;(2)化學(xué)預(yù)拋光:采用堿性拋光液對樣品進行化學(xué)預(yù)拋光,在樣品的表面形成氧化層;(3)超聲前處理:在超凈室采用去離子水對樣品進行超聲波清洗;(4)離子束刻蝕:(5)表面質(zhì)量檢測:檢測樣品表面是否滿足指標要求,若不滿足,重新進行離子束刻蝕,直到得到滿足指標要求的鋁合金材料。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的方法能夠在鋁合金表面獲得光學(xué)用超光滑表面。
聲明:
“光學(xué)用鋁合金表面多維可控反應(yīng)能束復(fù)合拋光方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)