本發(fā)明涉及太陽電池制造,公開了一種高效太陽電池新型圓角集成旁路二極管的制造方法,包括1、圓角集成旁路二極管圖形光刻版設(shè)計(jì)與制作;2、圓角集成旁路二極管圖形濕法化學(xué)腐蝕隔離槽;3、背面電極蒸發(fā)Pd/Ag/Au;4、集成二極管正面電極光刻版防短路設(shè)計(jì)與蒸發(fā);5、減反射膜蒸發(fā)AlO/TiO;6、劃片機(jī)電池分離;7、檢測(cè),本發(fā)明解決了這種太陽電池易受靜電擊穿和產(chǎn)量限制等問題,取得了成本低廉、實(shí)現(xiàn)十幾層化合物
半導(dǎo)體材料大面積均勻刻蝕、時(shí)間可控、可重復(fù)性高,以及器件可靠性改善等有益效果。
聲明:
“高效太陽電池新型圓角集成旁路二極管的制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)