本實(shí)用新型屬于光學(xué)傳感檢測技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種微泡集成型法布里帕羅結(jié)構(gòu)諧振腔傳感
芯片。本實(shí)用新型光學(xué)傳感芯片包括:兩塊平面反射鏡、中間有中空微泡的石英微管、兩根方形石英管;兩塊平面反射鏡上、下平行放置,兩根方形石英管設(shè)置于兩塊平面反射鏡左右兩邊,保證兩塊反射鏡保持高度平行;中空石英微泡設(shè)置于兩塊平面反射鏡之間,兩端與平面反射鏡之間粘合固定,形成微泡集成型法布里帕羅結(jié)構(gòu)諧振腔傳感芯片;平面反射鏡表面鍍有特定反射率的金屬薄膜或介質(zhì)薄膜。本實(shí)用新型基于微泡的透鏡效應(yīng),使傳感芯片具備高靈敏度、低模式體積和高品質(zhì)因子的特性,同時(shí)集成天然的微流通道,實(shí)現(xiàn)低濃度化學(xué)分子或者無標(biāo)記生物分子傳感。
聲明:
“微泡集成型法布里帕羅結(jié)構(gòu)諧振腔傳感芯片” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)