一種CVD方法制備硫化鋅過程中的壓力自動控制系統(tǒng),包括化學(xué)氣相沉積爐,該化學(xué)氣相沉積爐連接有壓力智能監(jiān)測表;該化學(xué)氣相沉積爐頂部設(shè)有尾氣管路,該尾氣管路連接
真空泵;該化學(xué)氣相沉積爐與該真空泵之間的尾氣管路上設(shè)置有線性定位閥門;該壓力智能監(jiān)測表與可編程PID智能調(diào)節(jié)儀的信號輸入端連接,該可編程PID智能調(diào)節(jié)儀的信號輸出端與該線性定位閥門連接。本實(shí)用新型通過控制整個化學(xué)氣相沉積過程的壓力,使實(shí)際壓力始終保持在設(shè)定范圍內(nèi),實(shí)現(xiàn)沉積系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可控性。
聲明:
“CVD方法制備硫化鋅過程中的壓力自動控制系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)