本發(fā)明涉及與微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)工藝兼容的參比電極的制備方法,首先將設(shè)計(jì)好的版圖經(jīng)微電子工藝形成掩摸板,利用光刻方法形成所需微電極或電極陣列,即可組成
電化學(xué)測(cè)試系統(tǒng)。本發(fā)明以貴金屬金Au,鉑Pt為電極材料,采用微機(jī)電系統(tǒng)工藝制作成超微薄膜電極陣列以在生化傳感器中的應(yīng)用為實(shí)施例實(shí)現(xiàn)了與微機(jī)電系統(tǒng)工藝兼容的參比電極的制備方法及其應(yīng)用。本發(fā)明具有工藝流程簡(jiǎn)便、快速、重復(fù)性好等優(yōu)點(diǎn),易于實(shí)現(xiàn)高精度復(fù)制和規(guī)模化生產(chǎn),非常適宜于微系統(tǒng)生物酶?jìng)鞲衅麝嚵械闹谱?適用各種電化學(xué)兩電極、三電極器件或陣列
芯片的參比電極的制備,將在生化傳感器、生物芯片以及微系統(tǒng)集成芯片研究開(kāi)發(fā)領(lǐng)域中得到廣泛應(yīng)用。
聲明:
“與微機(jī)電系統(tǒng)工藝兼容的參比電極的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)