本發(fā)明提供了一種制程工藝參數(shù)的反饋控制方法,應(yīng)用于化學(xué)機械研磨工藝,包括:獲取一待研磨晶圓的第一產(chǎn)品信息并發(fā)送至自動化程序控制設(shè)備;先進工藝控制設(shè)備根據(jù)第一產(chǎn)品信息以及一標準研磨速率處理獲得待研磨晶圓的研磨時間并反饋至自動化程序控制設(shè)備;自動化程序控制設(shè)備根據(jù)研磨時間生成調(diào)節(jié)指令化學(xué)機械研磨設(shè)備,根據(jù)調(diào)節(jié)指令調(diào)節(jié)待研磨晶圓的研磨時間;在當前的待研磨晶圓研磨完成后,獲得研磨完成后的晶圓的金屬膜厚度的量測值;先進工藝控制設(shè)備根據(jù)量測值處理獲得研磨速率,將處理獲得的研磨速率配置為標準研磨速率。其技術(shù)方案的有益效果在于,可有效解決導(dǎo)致金屬膜偏差問題,以達到先進工藝對金屬膜研磨制程工藝的要求。
聲明:
“制程工藝參數(shù)的反饋控制方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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