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鋯鈦酸鋇薄膜壓控變?nèi)莨艿闹苽浞椒?/h1>
1129   編輯：管理員   來源：中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:56:51

本發(fā)明公開了一種鋯鈦酸鋇薄膜壓控變?nèi)莨艿闹苽浞椒?，先按BaZr0.2Ti0.8O3的化學(xué)計(jì)量比，稱取原料BaCO3、ZrO2和TiO2，于1200℃燒制BaZr0.2Ti0.8O3即BZT靶材；再將Pt?Si襯底放入脈沖激光沉積制品臺(tái)上，將脈沖激光沉積系統(tǒng)的本底真空抽至P＜4.0×10?4Pa，然后加熱襯底至350～750℃；打開進(jìn)氣閥，向系統(tǒng)中通入氧氣，在Pt?Si襯底上沉積得到厚度為150?300nm的BaZr0.2Ti0.8O3薄膜；再在BaZr0.2Ti0.8O3薄膜上面利用掩膜版制備金屬電極，制得鋯鈦酸鋇薄膜壓控變?nèi)莨堋１景l(fā)明鋯鈦酸鋇薄膜壓控變?nèi)莨艿恼{(diào)諧率≥60％，測(cè)試頻率為100kHz，且器件穩(wěn)定性好，制備工藝簡(jiǎn)單、電學(xué)性能優(yōu)良，具有良好的應(yīng)用前景。
聲明：
“鋯鈦酸鋇薄膜壓控變?nèi)莨艿闹苽浞椒ā?該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究，如用于商業(yè)用途，請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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