本發(fā)明涉及一種同時(shí)檢測(cè)薄膜粘附特性及楊氏模量的無(wú)損表征方法,包括:通過(guò)激光激發(fā)待測(cè)樣片的超聲表面波試驗(yàn),獲得待測(cè)樣片的實(shí)驗(yàn)頻散曲線,得到不考慮粘附特性影響時(shí)的楊氏模量值,并將作為已知參量測(cè)量出樣片的粘附特性。確定出楊氏模量及粘附特性的搜索范圍及搜索步長(zhǎng)。計(jì)算獲得在搜索范圍內(nèi)的,以確定的搜索步長(zhǎng)而確定出的一系列的由楊氏模量和粘附特性確定出的理論頻散曲線,計(jì)算每一條理論頻散曲線和實(shí)驗(yàn)頻散曲線的R
2值,對(duì)于R
2值進(jìn)行排序,R
2值最大的一條曲線既可被認(rèn)為是匹配度最高的曲線,該曲線對(duì)應(yīng)的楊氏模量值和粘附特性值即為待測(cè)薄膜的楊氏模量值及粘附特性值。
聲明:
“同時(shí)檢測(cè)薄膜粘附特性及楊氏模量的無(wú)損表征方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)