本發(fā)明涉及一種基于內(nèi)聚力模型的無損檢測薄膜粘附性的方法,包括:利用界面之間的粘附力和界面相對位移的關(guān)系來表示薄膜和襯底間的粘附性,建立指數(shù)型內(nèi)聚力模型的勢函數(shù)來表征出薄膜與襯底間的粘附情況;利用上述指數(shù)型內(nèi)聚力模型作為薄膜襯底結(jié)構(gòu)中薄膜襯底界面單元的本構(gòu)模型,建立考慮界面粘附性的有限元模型,該模型包含薄膜和襯底兩部分,并在薄膜和襯底間添加內(nèi)聚單元;對復(fù)合參數(shù)進(jìn)行界面粘附性敏感性分析,確定關(guān)鍵參數(shù);計算考慮薄膜與基底間粘附性時的超聲表面波在分層結(jié)構(gòu)中傳播的理論頻散曲線;獲得表面波的實驗頻散曲線;得到薄膜粘附特性的測量值。本發(fā)明可以實現(xiàn)薄膜粘附性的定量表征。
聲明:
“基于內(nèi)聚力模型的無損檢測薄膜粘附性的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)