一種應(yīng)用于電子及微電子組裝領(lǐng)域內(nèi)的高精密透視成像檢測設(shè)備,屬于無損傷全自動檢測設(shè)備,包括微焦點X射線源、射線圖像接收器、X射線發(fā)射源及接收器的多角度轉(zhuǎn)動立體檢測裝置、被測物四軸運動平臺和計算機(jī)及分層控制系統(tǒng),所述多角度轉(zhuǎn)動立體檢測裝置和被測物四軸運動平臺組裝成活動支架體,被檢測物置于四軸運動平臺上,所述微焦點X射線源和射線圖像接收器分別安裝于多角度轉(zhuǎn)動立體檢測裝置的支架兩端處,所述計算機(jī)及分層控制系統(tǒng)完成實時運動控制及實時圖像采集處理。本實用新型為新一代的無損傷檢測設(shè)備,尤其應(yīng)用于電子及微電子產(chǎn)品的檢測和各種精細(xì)工業(yè)生產(chǎn)檢測,從而能應(yīng)用于航空、航天、軍用和工業(yè)領(lǐng)域。
聲明:
“高精密透視成像檢測設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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