国产在线一区二区不卡|在线观看中文字幕一区|亚洲中文无码h在线观看|欧美 亚洲 图色 另类|免费人成视频x8x8入口|国产福利观看天堂素人约啪|人妻无码专区一专区二专区三|国产婷婷成人久久AV免费高清

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 無損檢測技術(shù)

> 測量光刻膠掩模槽形結(jié)構(gòu)參數(shù)的方法

測量光刻膠掩模槽形結(jié)構(gòu)參數(shù)的方法

733   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:58:31
本發(fā)明公開了一種測量光刻膠掩模槽形結(jié)構(gòu)參數(shù)的方法,其特征在于:采用TE/TM線偏振光為入射光,入射角為被測掩模的閃耀角,分別測量標(biāo)準(zhǔn)反射片的反射光的光譜分布D0(λ);被測掩模的反射衍射零級復(fù)色光的光譜分布D(λ);采用比較法,計算出介質(zhì)膜光柵掩模實際的反射衍射零級的光譜分布Rg(λ),對其進(jìn)行光譜反演,得到掩模的槽形參數(shù):光刻膠的剩余厚度、槽深和占寬比。本發(fā)明實現(xiàn)了對于面積、重量均較大的待測掩模的槽形參數(shù)的無損檢測;且可以避免測量系統(tǒng)的誤差,對光譜儀測量系統(tǒng)以及光源沒有特別要求,測量方法簡單易行。
聲明:
“測量光刻膠掩模槽形結(jié)構(gòu)參數(shù)的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標(biāo)簽:
無損檢測
全國熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺微信公眾號
了解更多信息請您掃碼關(guān)注官方微信
中冶有色技術(shù)平臺微信公眾號中冶有色技術(shù)平臺

最新更新技術(shù)

報名參會
更多+

報告下載

第二屆中國微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團)有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記