本發(fā)明提供一種基于高溫光發(fā)射顯微分析技術(shù)的失效點(diǎn)定位方法,屬于失效分析技術(shù)領(lǐng)域,包括:提供一具有承載平臺的加熱裝置、一溫度監(jiān)測裝置、一電壓激勵源以及一檢測組件,將測試樣品放置于承載平臺上,并將電壓激勵源連接測試樣品;通過加熱裝置將測試樣品加熱到預(yù)定溫度,溫度監(jiān)測裝置提供給測試者監(jiān)測測試樣品的實(shí)時溫度,在實(shí)時溫度到達(dá)預(yù)定溫度時通過電壓激勵源向測試樣品施加預(yù)定數(shù)值的電壓激勵,通過檢測組件進(jìn)行基于光發(fā)射顯微分析技術(shù)的檢測操作得到失效點(diǎn)的定位信息。本發(fā)明的有益效果:定位處于高溫狀態(tài)下的測試樣品的漏電失效點(diǎn),以找到失效原因,提升經(jīng)濟(jì)效益。
聲明:
“基于高溫光發(fā)射顯微分析技術(shù)的失效點(diǎn)定位方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)