器件多余物微粒碰撞檢測(cè)裝置的振動(dòng)臺(tái)負(fù)反饋失效檢測(cè)系統(tǒng)及其檢測(cè)方法,涉及器件多余物檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明是為了解決現(xiàn)有的器件多余物微粒碰撞檢測(cè)裝置振動(dòng)臺(tái)負(fù)反饋失效時(shí)會(huì)產(chǎn)生過(guò)大的振動(dòng)加速度,可能會(huì)振落或振飛振動(dòng)臺(tái)面上的被測(cè)件,造成周?chē)脑O(shè)備或工作人員受到損害的問(wèn)題。先是根據(jù)振動(dòng)臺(tái)不同的振動(dòng)頻率選取失效檢測(cè)所需的閾值;再次,在振動(dòng)臺(tái)運(yùn)行時(shí),根據(jù)所述閾值判斷所述裝置的所述振動(dòng)臺(tái)負(fù)反饋是否失效,如果失效則拉低驅(qū)動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)信號(hào),使振動(dòng)臺(tái)停止振動(dòng)。它用于消除了振動(dòng)臺(tái)負(fù)反饋失效后振動(dòng)臺(tái)臺(tái)面撞底的現(xiàn)象。
聲明:
“器件多余物微粒碰撞檢測(cè)裝置的振動(dòng)臺(tái)負(fù)反饋失效檢測(cè)系統(tǒng)及其檢測(cè)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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