本發(fā)明公開了一種基于圖像分析的TSV結(jié)構(gòu)的三維應(yīng)力表征方法,包括如下步驟:步驟一、利用高分率X射線顯微鏡,從不同角度對(duì)TSV結(jié)構(gòu)進(jìn)行成像,然后通過圖像重構(gòu)技術(shù)獲得TSV結(jié)構(gòu)的三維結(jié)構(gòu)點(diǎn)云數(shù)據(jù);步驟二、計(jì)算TSV結(jié)構(gòu)在外載荷作用前后,上述點(diǎn)云數(shù)據(jù)中每一個(gè)點(diǎn)的空間三維變形量;步驟三、根據(jù)步驟二得到的三維變形量,采用拉格朗日應(yīng)變張量來計(jì)算TSV結(jié)構(gòu)中每個(gè)點(diǎn)的三維應(yīng)力狀態(tài)。本發(fā)明基于圖像信號(hào)分析來表征TSV結(jié)構(gòu)三維應(yīng)力,能彌補(bǔ)傳統(tǒng)應(yīng)力表征的成本昂貴、效率較低的不足,對(duì)含TSV結(jié)構(gòu)的器件在外載荷作用下的失效分析和可靠性設(shè)計(jì)意義重大。
聲明:
“基于圖像分析的TSV結(jié)構(gòu)的三維應(yīng)力表征方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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